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微表面形貌大视场检测相移显微干涉仪研制 总被引:1,自引:2,他引:1
基于相移干涉术,研制了立式大视场Mirau相移显微干涉仪,它包括干涉成像和照明系统、竖直方向上的压电陶瓷传感器(PZT)微位移系统、被测面的两维扫描系统、图像采集和处理系统,是无限筒长显微镜结构和Mirau干涉结构的叠加。大视场表面形貌通过多孔径扫描拼接实现。单片机串口控制电路控制电控平移台的精确位移,实现了被测面的两维扫描,最小的横向位移为0.039μm,扩展后的视场达到12.5mm×12.5mm。测量了光纤连接器端面的表面形貌,重复测量精度小于2nm。 相似文献
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Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究 总被引:1,自引:1,他引:0
Mirau相移干涉中的参考面对光路造成了中心遮拦。理论分析了被测面视场、Strehl判据、分辨本领、调制传递函数MTF以及残余像差和中心遮拦的关系,得到参考面的允许直径0.8~1.28mm。设计了参考面直径D=1.0mm的Mirau干涉物镜,其中心遮拦ε=0.129,和没有中心遮拦的系统相比,MTF变化的幅度不超过6%,允许的残余像差为0.978。 相似文献
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给出了在C++Builder平台上实现Web图像识别的编程方法。对完成网页图像识别所必需的技术关键,如:HTML文档的COM获取技术、对HTML文档的分析与修改等进行了叙述。给出了一种不影响网页其它内容显示效果的图像识别结果输出方法。 相似文献
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无焦系统在“空间直线度”测量中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在机械制造业中,常有一系列孔的中心组成的直线,称之为“空间直线”。多用内调焦式测微望远镜对其进行检测。但是对于远、近测试点不能有相同的成象质量和测量精度。本文试图解决这种“空间直线度”测量中对远、近测试点具有相近的测量精度和成象质量问题,即对远测试点和近测试点具有相同的倍率、孔径角,同时有相同的理论分辨率和象面照度,消除调焦误差,具有合格的成象质量。文中以一个无焦系统作为物镜,构成“等精度测量系统”,并研制成功仪器作为例子,说明无焦系统的应用。 相似文献
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研究了相移干涉轮廓仪干涉图处理的相位提取算法和相位去包裹算法,提出区分像素点的四步相位提取算法,该算法有效地消除了环境噪声,降低了相移误差的影响,同时具有广泛的实用性,为了验证该算法,首先检测一标准台阶面,测得台阶高度的平均测量误差为1.6%;然后以插入光纤的光纤连接器端面的三维轮廓为对象进行了实际检测,测得光纤端面与连接器端面高度差平均值为45.7nm,平均测量误差为2%,测得光纤端面上一污点高度为23.6nm,平均测量误差为3%。 相似文献
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