排序方式： 共有14条查询结果，搜索用时 15 毫秒
11.
对人工检尺和雷达液位计的计量误差进行了对比研究,建立了两者的测量不确定度模型,并分别计算了两者的测量不确定度。分析了雷达液位计测量特点、局限及误差的主要影响因素,提出相应的改进措施,实践表明能够有效提高雷达液位计的测量不确定度。 相似文献
12.
13.
为满足小体积、多参数测量的要求,利用(100)晶面的各向异性压阻特性与MEMS加工工艺特性,在单芯片上集成制作了三轴加速度、绝对压力以及温度等硅微传感器,在结构和检测电路设计上最大限度地减小各传感器之间的相互干扰影响。三轴加速度、绝对压力传感器利用压阻效应导致的电阻变化测量外界加速度和压力变化量,温度传感器利用掺杂单晶硅电阻率随温度变化的原理来测量外界温度。集成传感器具有较好的工艺兼容性,加速度、压力传感器的压敏电阻和温度传感器的测温电阻采用硼离子掺杂制作,加速度和压力传感器设计成工艺兼容的体硅结构。研制的集成传感器芯片尺寸为4mm×6mm×0.9mm。给出了集成传感器的性能测试结果。 相似文献
14.