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飞秒激光掩模版加工中的精度控制方法 总被引:1,自引:1,他引:0
飞秒激光掩模版加工和修复是近几年来微纳加工领域的研究热点之一,其中精度控制是获得高质量掩模版的关键.在飞秒激光脉冲对铬金属膜和石英基底材料破坏特性的理论基础上,利用一套输出脉宽25fs、最大功率1 W、中心波长800 nm、重复频率1 kHz的飞秒脉冲激光系统,实验研究了掩模特征单元尺寸与激光能量密度、扫描速度的关系,通过参数优化实现了最小特征尺寸为290 nm的掩模版加工;探讨了特征单元的边缘形貌和底部形貌受能量密度与扫描次数的影响规律,提出了加工参数的选取原则,最终实现了飞秒激光掩模版加工的精度控制和优化. 相似文献
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工程竣工是系统、准确、及时地收集、整理和管理施工中的工程记录和原始资料的全过程,是施工企业必不可少的一项技术基础工作。规范竣工资料整理及归档标准,并准确反映施工过程中实际情况十分重要,为施工项目完工验收创造条件。 相似文献
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在热电厂运行过程中,通常通过除氧器进行补除盐水,保证系统正常的汽水循环。根据改传统的除氧器补水方式为凝汽器补水方式运行的实例,具体从改造方案、经济运行、节能降耗等方面进行了详细分析论证。 相似文献
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介绍了一种五阶可调抽头式梳状线滤波器,设计采用共面方式接地,使用Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)铁电薄膜平板电容作为可调部件,并分析了平板电容结构的影响.针对梳状电调滤波器需单阶加压和外接大电阻繁琐的情况,提出利用集成在衬底上的大容量BST电容作为隔离电容,将各阶谐振器的偏压线互连来简化加压过程.运用高频电磁仿真软件HFSS进行验证,设计出的滤波器中心频率可调范围为842~960 MHz(14%),3 dB带宽为9%~10%. 相似文献
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