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51.
钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究 总被引:2,自引:2,他引:0
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20%~30%的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质。 相似文献
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以库哈斯近作西雅图公共图书馆为例,试图拨开概念的面纱,寻找到其背后的理性支撑。分析表明,正是通过对图书馆形制的深入反思,库氏才得以有针对性的提出其空间布局策略,实现了对传统图书馆从形式到内容的全面颠覆 相似文献
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施工企业经营管理的基础在于工程项目。随着改革的深入,国有大中型施工企业在以推行项目管理为中心、全面转换经营机制、实行管理层和劳动层分离后,项目体作为企业面向市场的窗口,作为企业对业主履约的主体,其经营管理的好坏,会直接影响到企业的经营效益和市场信誉。 相似文献
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随着经济的快速发展,ERP技术作为一种物质资源、资金资源和信息资源集成一体化管理的信息管理系统已经深入人心。本文将通过ERP技术的发展趋势结合电力物资管理系统的特点分别从物资管理中的流程设计、数据管理、计划采购管理以及合同的执行方面做一个深入的探讨。 相似文献
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沉井施工技术在中铝洛铜高精度电子铜板带项目1#纵剪机列设备基础中的具体应用.对施工过程控制和施工过程中出现的问题及处理方法进行了探讨和研究。 相似文献