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51.
钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20%~30%的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质。  相似文献   
52.
研究了氮化硅材料在触摸屏领域中的应用,利用等离子体化学气相沉积技术,在一定厚度的玻璃表面沉积不同厚度的氮化硅薄膜。通过理论分析和试验测试的方法得到了氮化硅膜层厚度和折射率对触摸屏透过率以及表面宏观颜色的影响。分析结果表明,氮化硅膜层折射率对触摸屏的平均透过率影响明显,而膜层厚度对触摸屏的平均透过率影响很小,但是膜层厚度的改变对触摸屏特定波长处透过率和膜层宏观颜色影响很明显。在实际生产中可以通过改变沉积条件获得合适折射率及厚度的氮化硅薄膜材料。  相似文献   
53.
以实际涡轮膨胀机为对象 ,通过不同轴向传感器测量方式下实验结果的比较 ,研究了轴向控制电流、轴向工作载荷、变化的温度及磁场、转子及推力轴承的热膨胀等因素与转子轴向位置精度的关系。提出了一种用于实际涡轮膨胀机的具有冗余结构的三传感器测量方式 ,解决了转子轴向漂移问题。本文的分析方法也可用于转子径向位置精度的分析以及磁悬浮轴承转子系统的实时工况监测。  相似文献   
54.
以库哈斯近作西雅图公共图书馆为例,试图拨开概念的面纱,寻找到其背后的理性支撑。分析表明,正是通过对图书馆形制的深入反思,库氏才得以有针对性的提出其空间布局策略,实现了对传统图书馆从形式到内容的全面颠覆  相似文献   
55.
王晓  谢振宇  周红凯   《振动与冲击》2014,33(23):63-67
建立了5自由度磁悬浮轴承支撑的垂直轴风力发电机转子试验系统,研制了零偏置电流模拟控制器,通过试验方法研究了该控制器对系统动态性能的影响。结果表明,零偏置电流控制方式在显著降低磁悬浮轴承电能损耗的同时仍然能够保证垂直轴风力发电机转子系统稳定运行。  相似文献   
56.
使用低电阻金属铝制造薄膜晶体管阵列信号电极   总被引:6,自引:6,他引:0  
金属电阻是影响大尺寸TFT-LCD信号延迟的关键因素.研究了利用低电阻率金属Al制作大尺寸TFT阵列信号线的生产工艺,发现在完成有源半导体层刻蚀后残留的少量Cl2会在后续工艺中对金属Al造成腐蚀,严重地影响了产品的性能.通过优化刻蚀工艺,采用活性更高的SF6去除刻蚀有源半导体层时残留的少量Cl2,避免了金属Al腐蚀的发生.  相似文献   
57.
施工企业经营管理的基础在于工程项目。随着改革的深入,国有大中型施工企业在以推行项目管理为中心、全面转换经营机制、实行管理层和劳动层分离后,项目体作为企业面向市场的窗口,作为企业对业主履约的主体,其经营管理的好坏,会直接影响到企业的经营效益和市场信誉。  相似文献   
58.
59.
谢振宇 《建材与装饰》2013,(39):119-120
随着经济的快速发展,ERP技术作为一种物质资源、资金资源和信息资源集成一体化管理的信息管理系统已经深入人心。本文将通过ERP技术的发展趋势结合电力物资管理系统的特点分别从物资管理中的流程设计、数据管理、计划采购管理以及合同的执行方面做一个深入的探讨。  相似文献   
60.
沉井施工技术在中铝洛铜高精度电子铜板带项目1#纵剪机列设备基础中的具体应用.对施工过程控制和施工过程中出现的问题及处理方法进行了探讨和研究。  相似文献   
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