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二维流体模型的建立及其在微晶硅薄膜中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
建立二维流体模型,研究甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PEVCVD)高速沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜.模型采用平行电容耦合放电方式. 模拟条件与实验条件相同,均为甚高频(70 MHz)、高H2稀释SiH4和高压耗尽区域.模型的几何结构是根据实际高速沉积μc-Si:H薄膜的反应腔室建立的.模型是自适应的,建立在玻尔兹曼方程和泊松方程基础之上,包含87个气相反应和25个表面反应.将模拟沉积速率与相同实验条件下的结果相比较,结果发现,模型在微晶区域运行结果与实验结果吻合得很好. 相似文献
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大跨度空间钢结构已在各种体育馆、大剧院、展览中心、飞机库和一些工业厂房中得到应用。加工厂在制作的过程中,由于转换节点类型复杂,尺寸要求精度高,焊缝质量要求严格,而成为加工制作的难点之一。本文主要针对某大型游泳馆结构V形圆管柱顶座和底座的转换节点加工工艺进行阐述,为类似构件的加工制作起引导和借鉴作用。 相似文献
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阐述机械数学融合的教学模式特点,课程教学的实施策略,实施成效和改进思考,课程结构的有效优化和多元化,增强教学的实用性和趣味性,促进学习体系的创建。 相似文献
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阐述以数学机械方法为基础的平面多杆复杂机构,结合计算机符号处理技术完成符号法求解,从而为平面多杆复杂机构位置分析提供有效引导,并促进机构可靠性、提升效率。 相似文献