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玻璃通孔(TGV)技术被认为是下一代三维集成的关键技术,该技术的核心为深孔形成工艺。感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是半导体领域中深孔形成的重要手段之一。本文通过正交实验设计方法,研究ICP石英玻璃刻蚀工艺中工作压强、C4F8流量、Ar流量三个工艺参数对深孔刻蚀的影响,探索提高刻蚀速率的优化组合。实验结果表明,C4F8流量对玻璃刻蚀速率有显著影响,并且随着C4F8/Ar流量比减小,侧壁角度垂直性越好。实验为TGV技术开发和应用提供了实验依据。 相似文献
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相对于传统的认知单向中继系统,认知双向中继网络由于引入了网络编码技术,减少了传输时隙,能获得更高的频谱效率.对采用时分广播(Time Division Broadcast,TDBC)传输协议的译码转发(Decode-and-Forward,DF)认知双向中继网络的和速率进行了分析,提出了一种功率分配的优化算法,能在满足次用户(Secondary Users,SUs)总功率约束以及对主用户(Primary Users,PUs)最大干扰功率(Maximum Tolerable Interference Power,MTIP)约束的前提下,最大限度提高次用户网络的和速率.并推导了不同情况下,次用户网络功率分配的最优解.数值仿真结果验证了该理论分析的正确性,同时表明,次用户的总功率以及主用户的干扰功率限制,对次用户网络的和速率有较大影响. 相似文献
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介绍了基于FPGA的数字下变频器设计中各关键因素。重点分析了几种高效混频预选抽滤波算法,并具体结合在FPGA中的实现,提出了数字下变频器的高速、高精度、低资源消耗的实现方式。 相似文献
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基于SystemC的片上系统设计 总被引:9,自引:8,他引:1
文章提出了基于SystemC的片上系统设计方法.本设计方法引入SystemC,消除了一直存在于系统级设计和硬件设计之间的语言隔阂,基于SystemC进行的系统功能定义能够方便有效地映射为硬件实现部分和软件实现部分,大大地提高了SOC时代集成电路设计效率. 相似文献
70.
西澳大利亚帕丁敦金矿选矿厂,年处理矿石120万吨,原矿中金主要与砷黄铁矿和其它硫化物共生,且大部份小于40μm。选厂采用两段磨矿,二段磨与水力旋流器闭路,摇床选别和氰化浸出的流程。由于原矿 相似文献