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为了设计和制造适合工业化生产的微机械麦克风,给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析.微机械电容式麦克风的两个电极由一个3层复合敏感膜和一个铜底板构成,敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气间隙.复合敏感膜采用低压化学气相淀积工艺制作,包含一层浓硼掺杂的多晶硅和两层氮化硅.底板采用电镀铜技术制作,底板上蜂窝状分布了许多圆形通气孔来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼至临界阻尼.分析和计算表明,麦克风在9 V偏置电压下开环灵敏度为4.99 mV/Pa,工作最大稳定电压为32.83 V,工作频率带宽为0~134 kHz. 相似文献
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为准确计算接地网的冲击特性,在场路结合的接地网暂态计算模型基础上,利用快速傅立叶变换提出了土壤电离计算模型。考虑了导体周围土壤火花放电对雷电暂态效应以及导体间阻性耦合和感性耦合的影响,利用快速傅立叶变换及其反变换,分析了不同地网结构,不同雷电流注入点等因素的接地网冲击特性。 相似文献
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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计 总被引:6,自引:0,他引:6
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型,此传感器为整体式悬臂梁结构,采用硅微机械加工技术制作,便于封装和大批量低成本制造,其敏感方向在硅片平面内,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端,两个完全相同的悬壁梁沿相反方向分布,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接,悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面,一方面有效地提高悬壁梁的过载保护能力,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼,使之接近临界阻尼,有效抑制自由振动模态,提高测量精度。 相似文献
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同处东亚文化圈的中、日、韩三国,由于地理位置的衣水相通和相似居住、建造文化传统,在包括建筑艺术,建筑历史等文化的方方面面一直交流广泛。近年韩国建筑史学界有很多不俗的影响和发声,本文将对近期韩国建筑史学界的研究动向和研究活动开展情况进行简单总结,以促交流。 相似文献
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cAMP信号通路在调控酵母细胞代谢、增殖、分化及压力抗性的获得过程中具有重要的作用。工业应用中对酵母的耐受性有很高的要求,在发酵过程中,胁迫环境如高温、高渗透压、营养饥饿和高浓度酒精毒性等不可避免,故而提高酵母菌种的耐受性,可以提高菌种的发酵性能,降低发酵过程中的能量消耗。本文构建的突变株在工业应用方面具有重要的意义。以实验室现有菌种AY12a为出发菌株,URA3基因作筛选标记,利用胞内重组,在MSN2基因的N端加上强启动子PGK1_p以实现基因的过表达,最终通过PCR验证,成功构建突变株AY12a-msn2。对酵母进行耐受性的测定,发现AY12a-msn2不具有一定的耐高温性能。同时将突变株与AY12a进行玉米高温浓醪发酵,并测定发酵完成后的酒度、残糖、48 h细胞存活率、CO_2失重及发酵时间。结果发现突变株AY12a-msn2酒度下降,残糖含量上升,48 h细胞存活率上升,发酵时间较长。 相似文献