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小型微/纳米级三坐标测量机的研制 总被引：11，自引：1，他引：10
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程，作为微/纳米级超精密测量设备，整体机台结构采用花岗岩材料；X／Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理，长短两行程可达25mm范围及5nm的微位移，藉自行研发的衍射干涉激光尺，位置回馈测量系统可具有0．025nm的分辨率；测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装，最佳分辨率可达2．5nm，该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等。 相似文献
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生物产量是提高经济产量的基础,而施肥是调控生物产量及其组分动态转化的重要手段。本研究通过不同施钾水平对玉米干物质积累动态变化的影响分析,确定出钾肥合理用量,为玉米高产高效栽培提供理论依据。 相似文献
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本文以如东县已开通的二级我纤网为例，阐述了二级光纤网的应用，主要技术指标及其分配，设计方法和应注意事项。 相似文献
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《高效节能型蒸汽喷射压缩器软件》答读者问中国环球化学工程公司游向东《高效节能型蒸汽喷射压缩器软件》一文在本刊１９９５年第５期刊载以来，引起了工厂从事节能改造工作的同志的重视，先后收到一些读者的来信和电话咨询，现就大家关心的几个问题答复如下，供读者参考... 相似文献
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从债务风险、汇率变化分析、汇率与借款利率的关系、利用外资借款债务风险的防范等方面出发，研究了利用外资债务风险的问题。 相似文献