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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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一、前言一步法镀铜工艺是近年来应用较广的一种新工艺,镀液中酒石酸钾钠、柠檬酸的测定却由于两者之间存在互相干扰、使滴定终点不敏锐、再现性差.本文对分析条件进行了一些试验,找出了测定的最佳条件,解决了上述问题,准确度完全可以满足日常分析的要求,分析速度有所提高,方法简便易行. 相似文献
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马格尼托哥尔斯克钢铁公司在2002年研制开发了冶炼含0.007%以下碳的IF钢工艺,而在次年开始IF钢的工业性生产。 相似文献
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单壁碳纳米管的制备及生长特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用Fe/MgO作为催化剂 ,催化裂解CH4制备了较纯的单壁碳纳米管 ,用TEM和Raman对碳纳米管进行了表征 ,对不同生长温度下制备的碳纳米管Raman径向呼吸振动峰 (RBM)进行了分析 ,研究了生长温度对单壁碳纳米管生长特性和结构特性的影响 相似文献
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利用范氏力将单壁碳纳米管样品组装到钨针尖上 ,用FEM/FIM对同一碳纳米管样品用热处理方法和场脱附方法进行了研究。场离子显微镜是具有原子级分辨能力的尖端表面分析工具 ,由场离子像推测这次组装的样品是由三根单壁碳纳米管突起组成的碳纳米管束。清洁碳纳米管束样品的场发射像和场离子像有极好的对应关系。场脱附后的碳纳米管束的场发射特性较好地符合Fowler Nordheim场发射模型。通过比较碳纳米管束吸附态和热处理后以及场脱附后的Fowler Nordheim曲线的斜率变化 ,得出碳纳米管束样品逸出功的变化 ,再结合场发射像的变化推断出场脱附与热处理结合是一种较理想的获得清洁碳纳米管表面的方法 相似文献
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据日本《新砂防》杂志1991年5月通卷174号报道,日本中线测量仪器股份有限公司研制出的J—763电磁流速仪是非接触式的表面流速仪,可测量河流、灌溉渠道和下水道水流流速。一般认为用原有的回转式流 相似文献
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束传播方法广泛的地无源波导器件的模拟与设计,为了能够模拟有源器件,例如金属包层波导和超射发光二极管(SLD),我们将复的射率引入其中,器件的增 吸收通过折射率为描述,用复折射率的有奶差分敌意一束传播方法,我们对1.3μm直条形吸收区SLD进行了模拟与设计,并且给出一种新结构。 相似文献
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