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微/纳米复合多层金刚石自支撑膜的制备及应力研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用大功率DC Arc Plasma Jet CVD装置,采用Ar-H2-CH4混合气体为气源,通过优化工艺参数,在多晶钼衬底上制备出了多层复合金刚石自支撑膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼谱(Raman)对膜体进行表征,结果显示,多层膜体的组织结构体现了微米金刚石与纳米金刚石的典型特征;复合金刚石自支撑膜具有光滑的表面,微米层与纳米层间呈相互嵌套式的界面;此外,利用激光拉曼谱分析了多层膜中的内应力状态,研究发现,多层膜中各层膜体具有不同的内应力状态,内应力沿膜体生长方向有明显变化,呈现出从压应力到拉应力的变化过程. 相似文献
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本文为了探明Al-Cu-Cr系准品及其类似相的形成规律,以指导Al-Cu-Cr系准晶合金设计.通过分析研究用热压法制备的Al-Cu-Cr准晶与纯铝的复合材料中不同条件下形成的各个Al-Cu-Cr相的成分和结构,绘制了Al-Cu-Cr三元成份-结构相图,结果表明相图中存在两条等电子浓度线,一条是二十面体准晶及其类似相的等电子浓度线,电子浓度e/a=1.86;另一条是十次准晶及其类似相的等电子浓度线,电子浓度e/a=2.09.这充分证实了准晶及其类似相是电子相,服从Hume-Rothery规则. 相似文献