Effective improvement of high-k Hf-silicate/silicon interface with thermal nitridation

The electrical properties of polysilicon gate MOS capacitors with hafnium silicate (HfSiO) dielectric, with and without NH/sub 3/ nitridation, were investigated. The results show that with NH/sub 3/ nitridation prior to deposition of HfSiO can effectively tune the flatband voltage close to that of conventional oxide and significantly improve the leakage properties over SiO/sub 2/ (three orders reduction). Furthermore, the excellent interface quality has been evidenced by the result of immunity against soft breakdown with NH/sub 3/ nitridation.     

分割电极片状压电致动器——(二)位移特性及狭缝宽度对其影响的实验研究

研究了悬臂梁式分割电极片状压电致动器的位移特性。理论分析表明，分割电极狭缝宽度会减小致动器自由端的位移输出，但当狭缝宽度小于致动器电极宽度的１０％时，可忽略狭缝宽度的影响。致动器端部位移的测试结果大于理论计算值。与现有磁头悬浮臂尺寸相近的致动器，在２０Ｖ～５０Ｖ的电压驱动下均可获得１μｍ～２μｍ的致动位移。对９８５０道／厘米的密度磁盘，该位移能覆盖至少一个磁道宽度，满足磁头定位两级伺服系统对第二级致动器位移的基本要求。     

二氧化碳对油井水泥石的腐蚀及其防护措施

在湿环境下,油气构造中富含的CO_2对水泥石产生碳化腐蚀,碳化结果使水泥石渗透率变大、抗压强度减小,诱发流体窜流、塑性地层井壁垮塌等事故,造成巨大的经济损失。介绍了在不同温度下的水泥水化产物及其碳化产物。从化学角度分析了CO_2在不同温度下对油井水泥环碳化腐蚀的机理、影响因素及防护措施。在低于110℃的温室下,CO_2的腐蚀速度受扩散控制,其影响因素包括水泥浆密度和水泥石渗透率及水泥石孔隙液中Ca(OH)_2的含量,在水泥中掺加活性硅灰或提高水泥浆密度可预防碳化腐蚀。在大于110℃的高温下,碳化腐蚀速度受水泥水化产物中Ca(OH)_2含量和水泥石碳化后渗透率大小的影响。正确的防腐工艺是在水泥石中加入10％—15％的石英砂,或者在纯水泥中加3％—8％的膨润土。     

SiCp/2024复合材料的氢脆敏感性研究

在浸泡、阴极极化、阴极极化同时迭加拉伸变形、添加As₂O₃毒化剂等常见致氢条件下,通过慢应变速率拉伸试验研究了SiC_p/2024复合材料的力学性能,考察了断口形貌.测定了该材料在按几种常用充氢条件充氢后的氢含量.发现虽然强烈阴极极化使材料力学性能下降,但其原因在于阴极极化引起的碱性腐蚀,与氢脆无关.获得了不同于前人研究的新结论:在本文试验条件下SiC_p/2024材料不发生氢脆,也不发生不可逆氢损伤,其原因与该材料难以充入氢有关.     

铝对W9Mo3Cr4V高速钢组织和硬度的影响

用Ｘ－射线仪，扫描电镜和透射电镜系统研究了铝对钨钼系高速钢铸态，退火以及淬回火组织的影响，铝含量超过２．０％，淬火组织中出现含析出合金的铁素体组织和晶界屈氏体，导致钢硬的降低。     

宁夏黄河经济及其非均衡协调发展战略

宁夏黄河经济应是宁夏区域经济,发展宁夏黄河经济必须立足于宁夏黄河资源的开发。广义而言,黄河资源基本上是宁夏全部的国土资源.其开发模式应由过去的单一开发、浅层开发向综合开发、深度开发转换。同时要注重以水利建设为突破口,以水利、农业两大基础产业为重点,煤—电—高耗能系列开发、灌溉—农业—轻工业系列开发、教育—人才—信息系列开发三大主导方向并行。发展宁夏黄河经济,应选择具有优势的部门和地区实行重点开发,使其优先增长,以此辐射带动整个区域的发展。     

分散剂FDN对G级油井水泥作用机理探讨

采用液相电导法和酸度法研究了分散剂FDN对G级油井水泥水化速度的影响。发现FDN促进水泥的早期水化,但吸附-络合作用及磺酸根离子对Ca(OH)_2核晶过程的“毒化”作用使后期水化速度减慢。本研究证实ζ电位升高是FDN广生分散作用的主要因素。当FDN的吸附达饱和时,ζ电位达最大值,水泥浆的分散程度最大。     

二元光栅照明研究

采用部分相干成象理论对二元光机照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力，焦，照明能量和照明均匀性的影响，并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程度的提高，同时能量损失不大。     

国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势（考察报告）

讲述了参观Ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ９４′展览会及考察美国和西德的５个公司、１所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。