适用于200 mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计

介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制。     

太阳能电池制绒设备研究的几点心得

着重对太阳能电池制绒工艺的研究进行了阐述,并以研究所得的工艺数据为基础,对制绒设备的关键部件——工艺槽体的设计进行了详细说明,保证所研发的最终设备满足了大规模生产线对制绒设备的需要。     

8英寸立式扩散/氧化炉的研制

本文简要介绍了适用于8英寸硅片、能够进行扩散、氧化、退火、合金等工艺的立式扩散氧化炉的研制目的、技术路线、关键部件及技术难点.重点介绍了加热炉体及其温度控制、储片台、颗粒控制及设备含氧量的设计及控制.     

摩尔定律遇上了对手

到2010年，把重点放在系统集成而不是放在晶体管密度上“超摩尔定律”运动将导致革命性的兆功能电子。     

高产能四管卧式热壁型PECVD设备

介绍了北京七星华创电子股份有限公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标。     

基于CANopen现场总线的在线制绒清洗机控制系统

根据在线制绒清洗机的工艺要求及特点,对采用了M258及CANopen现场总线控制系统的构成及网络控制结构进行了详细的研究,并结合底层的执行器及传感器实现了包括硅片的同步传输等主要控制功能。     

一种高精度三相交流电源的混合集成设计

本文提出了应用于各种控制系统中的三相交流电源的混合集成设计。详述了电路的组成和工作原理以及解决的关键技术。     

一种陀螺精密三相交流电源的研制

本文着重介绍了一种陀螺精密三相交流电源的电路原理及功能，并详细阐述了将其转换为高可靠厚膜混合集成电路过程中解决的关键技术问题。     

基于SolidWorks Flow Simulation的比例阀和真空泵的选型与优化

在真空泵和罐体之间装一台比例阀，比例阀和真空泵配合可改变抽速，保证罐内恒压。比例阀根据压力变化要求提供维持需要压力，比例阀与真空泵的选型多数靠经验来匹配，往往出现高能耗。通过SolidWorks Flow Simulation对设备进行分析仿真，通过数据对比最优化的对比例阀与真空泵体的选型。     

自动传输机构设计

介绍了自动传输舟系统在太阳能生产线设备上应用,具有高性能、自动化程度高、高性价比等特点,文中阐述了该机构的结构特点,技术先进性。