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蒋磁控管方式溅射用于微波ECR等离子体沉积技术。在低气压和下沉积了高度C轴取向的ZnO薄膜,其膜的沉积速率比普通CER溅射中所得到地速率大得多,并且在Φ12cm的膜区域内显示出良好的均匀性。 相似文献
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<正> 上期中我们讲解了微波炉的种类、功能、电路、整体结构及工作原理,在此基础上,本期文章介绍具体的维修原理、方法和实用技巧。我们知道,微波炉主要用磁控管、高压变压器、高压二极管、高压电容器、门联锁开关、监控开关、冷却风扇电机和转盘电机等多种零部件组成。由于不少零部件是微波炉专用的,因此在介绍维修方法和实用技巧之前,很有必要先对微波炉各主要零部件,特别是专用零部件的结构和原理作些讲解。 相似文献
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人们早已 利用金属材料的线热膨胀系数设计双金属温度仪及一些热敏元件。本文将材料线热膨胀系数法用于设计某型捷变频磁控和罩焊接极,取得了满意的效果。 相似文献
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