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101.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引:5,自引:1,他引:4
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。 相似文献
102.
利用梯度方向信息的随机Hough变换 总被引:17,自引:0,他引:17
针对随机Hough变换(RHT)在处理复杂图像随机采样造成的大量无效积累提出一种改进的用于直线检测的RHT,较发地解决了无效果累积问题,并使改进后的算法具有计算速度更快,占用内存更少以及检测性能更好等优点。 相似文献
103.
分析了输送管管体横向拉伸试样弯曲度对屈服强度测试值的影响,从理论上初步阐明了管体横向拉伸试样的弯曲会引起屈服强度测试值的降低,并提出在相关的标准中应对管体横向试样的展平程度作出规定. 相似文献
104.
介绍一种用于生产聚氨酯泡沫夹克管保温层的新材料聚酯聚醚,报道选用这种材料生产泡沫夹克管的工艺及工要工艺参数和产品达到的技术指标及现场应用情况。 相似文献
105.
Zheng Wen Technological Faculty of Maintenance Engineering Guangzhou University Guangzhou P.R.China 《国际设备工程与管理》1997,(3)
VibrationMonitoringandDiagnosisofPipelinePumpsonOfshorePlatformsZhengWenTechnologicalFacultyofMaintenanceEngineringGuangzhou... 相似文献
106.
In this paper we have studied the control of linear systems with algebraic-equation constraint. A pole-assignment controller with two-layer structure for such constrained systems has been presented. The objective of the controller is to assign the desired poles to constrained system and simultaneously force the corresponding closed-loop system to satisfy the constraint. The conditions for the existence of pole-assignment controller are discussed in different cases. The implementation algorithm of pole-assignment controller is also presented. An example is given to illustrate the validity of the method in this paper. 相似文献
107.
本文讨论了在一条通讯通道上执行基本控制决策的信息传输问题。结果表明当且仅当第一条通道可模拟另一条通道的操作时,则第一条通道在任何情况下比另一条通道都有优势。 相似文献
108.
109.
介绍85W/90卡车手动变速箱油的组分和添加剂,提出符合85W/90粘度级别的基础油,讨论影响85W/90卡车手动变速箱油性能的各种因素,给出符合85W/90卡车手动变速箱油规格的油品配方。 相似文献
110.
文中通过求解薛定谔方程得到抛物型形量子阱的变换矩阵与透射系数。利用这一结果计算透射系数可以达到任意高的精度,最后,讨论了结构变化对抛物型量子阱的共振隧穿的影响。 相似文献