纯Ar气氛中退火对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响

用射频磁控溅射技术制备了高度择优取向的Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜,并对薄膜在纯氩气中进行了400～600℃的退火处理.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、光谱仪和四探针测试仪等对退火前后薄膜进行了表征和光学、电学性能研究.研究表明,纯氩气中退火处理对ZAO薄膜的晶体、光学和电学性能有影响.原位沉积的薄膜电阻率2.59Ωcm,可见光区透过率约70%.500℃纯Ar气氛中退火1h后,ZAO薄膜的平均晶粒有所长大,薄膜内应力达到最小,接近于松弛状态;薄膜可见光区平均透过率从70%提高到80%左右;而薄膜的电阻率变化不明显,从2.59Ωcm降低到1.13Ωcm.     

THE EFFECTS OF SPUTTERING POWER ON STRUCTURE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF Cu FILMS

1. IntroductionCu filnls are very pron1isillg for electronic devices because of both high electromigrationresista11ce alld high electrical conductivity['--']. For a sputter-deposited film, base pressure,deposition rate, substrate temperature and energetic…     

电磁材料的电磁参数及测量

本文主要介绍了电磁材料的磁滞回线及电阻率与磁阻几种电磁参数以及它们的测量方法。用磁通计测量磁滞回线从而得到其他参数如饱和磁化强度、矫顽力以及磁导率等。凯尔文直流双臂电桥具有灵敏度高、读数准确和使用方便的优点，是测量材料电阻率和磁阻的有效工具。     

扩散阻挡层对Cu-Zr纳米合金膜电阻率与残余应力的影响

用磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在以单晶硅为基体的TiN,TaN,ZrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Zr合金膜,膜在400℃氮气中退火1h.结果表明扩散阻挡层对膜的晶体取向、电阻率和残余应力有很大影响.沉积态的膜具有强的（111）取向,且峰型严重展宽;退火后峰型明显锐化,出现（200）等晶体取向;对应TiN,TaN;ZrN三种扩散阻挡层,膜的电阻率在沉积态时分别达108,327和478μΩ·cm,退火后降至正常的数个μΩ·cm;扩散阻挡层亦可明显降低膜的残余应力,无扩散阻挡层时膜的退火应力达475MPa,有ZrN扩散阻挡层后退火应力降至149MPa.     

稀土元素提高渗硼层抗熔锌腐蚀性能的研究

采用固体法硼稀土共渗,研究了加稀土对渗层抗熔锌腐蚀性能的影响.结果表明,加入稀土后渗层抗熔锌腐蚀能力比不加稀土的提高3倍.主要原因是加入稀土后渗层致密、成分均匀、缺陷少、组织韧性好、裂纹扩展阻力大,致使裂纹不易扩展,难以形成锌蚀通道,从而材料的抗熔锌腐蚀能力增强.     

Cu-11.5%Fe合金的导电性

研究了Cu-11.5?合金经固溶和时效处理后导电性的变化规律. 采用SEM和TEM观察了经不同规范热处理Cu-11.5?合金的组织结构, 利用XRD测定了铜基体的晶格常数, 得出时效处理对合金电阻率的影响规律, 并探讨了合金电阻率变化的内在原因. 结果表明: 影响合金导电性的主要因素是溶质散射电阻、析出应变场散射电阻; 固溶处理的合金经过550.℃、 2.h时效处理, 可得到较低的电阻率.     

Mn掺杂对La0.68Pb0.32FeO3纳米材料电阻率、气敏性能的影响

采用Sol-gel法合成了系列纳米材料La0.68Pb0.32Fe1-xMnxO3（x=0．0，0．1，0．2，0．4，0．6），研究了Mn掺杂对材料的导电特性和气敏特性的影响。研究表明：合成的系列纳米材料均具有正交钙钛矿结构，Mn的掺杂对材料La0.68Pb0.32FeO3的结构没有影响，且对材料粒径的影响较小；随Mn元素含量的增加，La0.68Pb0.32Fe-xMnxO3纳米粉体对丙酮的气敏性均迅速降低；Mn掺杂同时导致电阻率减小，这是由于形成Mn^3＋-O^2--Mn^4＋双交换作用键的缘故。     

TEM IMAGING TECHNIQUE

This imaging technique is used for approximate interpretation of TEM data including ungrounded loopsource and grounded line source soundings.Loop source data can be collected as central-loop soundings or asout-of-loop soundings with a short or long offset configuration.The imaging method is based on the same princi-ple as that employed by Fullager(1989),with apparent resistivities computed directly from time-derivative data,db/d,and then associated with depths according to image theory.     

气敏陶瓷研究进展

从气敏陶瓷在实际生产生活中的重要应用价值出发,介绍了气敏陶瓷的工作原理、性能及制备方法,并列举了大量典型气敏陶瓷的工作情况及其原理,最后提出了需要努力的方向.     

高密度电阻率法在水文地质勘察中的应用

电阻率法是电法找水应用中历史较长、理论研究较为完善、应用最为广泛的一种方法。通过对高密度电阻率法的基本原理和不同装置类型的介绍及其在马山变电所新建工程场地水文勘察中的应用,为合理布置最佳水井井位提供水文物探依据。