GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究

用Ｎ２气和ＮＦ３反应气体，在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶ＡＺ１５１８作掩模，均匀、快速刻蚀ＳｉＯ２，ＳｉＯＮ，Ｓｉ３Ｎ４，ＷＮ，Ｗ等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术，将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示，实现了计算机辅助监控和终点检测技术。     

HIT—PAW—400T新型等离子弧焊枪

针对已有等离子弧焊存在的缺点，研制了新型结构的直筒式等离子弧焊松，并设计制作了配套使用的操作工具。结果表明：焊松在钨极对中和内缩量调节，钨极和喷嘴冷却象效果，气流流动效果，水气密封可靠性，喷嘴更换，钨极更换和利用率，通用性，焊接区可视性和可达性等方面有显著提高。     

直流非转移弧等离子喷枪中电弧的工作特性研究

利用计算机数值模拟技术，采用有限容积方法，针对自制的低能耗、高效率内送粉等离子喷涂设备，对喷枪内部电弧长度及其对流体特性的影响进行了分析研究。结果表明，通过增加进气流量和减少电流的大小，均使得等离子电弧长度增加，阳极弧根位置逐渐向下游移动，但是产生这两种现象的机理以及对气流温度和速度的影响是不同的。     

PDP用防反射滤光膜

最近，在大部分家电商场都专门设置了等离子显示器(PDP)柜台，展示32英寸以上薄型大屏幕显示器。预计2004年PDP市埸规模将达到200万台，2005年为400万台以上。     

等离子喷涂燃料电池连接板LSM薄膜的性能研究

采用等离子喷涂法在SUS 430连接板基体上制备了LSM(La0.8 Sr0.2 MnO3)薄膜。用X射线衍射仪、扫描电镜和电子探针分别研究了喷涂前后LSM的相组成、薄膜的表面形貌和元素分布。用图像分析法计算了薄膜的孔隙率。二支点法测量了有与无LSM薄膜的SUS 430基体在130～800℃时的电导率。结果发现,薄膜与基体结合良好,薄膜孔隙细小,均匀分布,且非连通;LSM的相组成在喷涂前后保持一致;当温度<330℃时,有LSM保护膜的连接板的电导率小于无LSM薄膜的连接板的电导率;温度>330℃,结果相反。有LSM保护膜的连接板在空气中,130～800℃下,最大电导率为0.60Ω-1·cm-1。     

业内快讯

高清娱乐体验活动，顶尖级的Faroudja DILA 1080p HD投影机，画面效果一流的马兰士VP-12S4 DLP投影机，价格杀手级的DVD播放机，超值的先锋Elite PRO-1130HD等离子电视机……     

公司

雅虎中国彻底放弃非搜索业务；长虹8亿美元力挺等离子电视；搜狗地图探索互动赢利模式。[编者按]