MEMS扫描镜温度可靠性测试

温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响,分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响,低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大,增幅达12.3%,对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效,高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。     

Novel one-step formed composite reinforcement of "Spider web like" SiCnw networks and "Z-pins like" SiC rods for ablation resistance improvement of C/C-ZrC-SiC

A novel composite reinforcement with horizontal multilayer "Spider web like" SiC nanowire networks and vertical interconnected "Z-pins like" SiC rods was designed and prepared by facile one-step figuration. The linear ablation rate of "Spider web like" SiC nanowire networks and "Z-pins like" SiC rods collectively reinforced C/C-ZrC-SiC composites at 2610 ± 20 ℃ was 0.4 ± 0.03 μm/s with a 74.19 % reduction. The improved ablation resistance was attributed to a denser gradient oxide layer composed of central ZrO₂ layer, transitional ZrO₂-SiO₂ layer and marginal SiO₂ layer generated under the initial sticky net effect from SiCnw networks and subsequent oxide compensation from "Z-pins like" SiC rods.     

碳化硅纳米粉体研究进展

碳化硅纳米粉体性能优于传统的碳化硅粉体，能够达到高新技术领域的严格要求，具有更为广泛的用途。综述了近年来在高新技术领域发展起来的碳化硅纳米粉体的制备方法，对一些新的制备方法进行了重点介绍，阐述了各种方法的基本原理、特点及研究现状，并对各种方法进行了比较。碳热还原法原料便宜，质量稳定，易实现工业化生产；液相法可制得纯度高的纳米级微粉；气相法是目前比较先进的方法，但不易实现大批量生产。未来碳热还原法将继续占主导地位，提出了该领域科学工作者的努力方向。     

SiC晶须对Si3N4陶瓷基复合材料机械强度的影响

制备了含10vol％,20vol％及30vol％SiC晶须的Si_3N_4基复合材料,对其室温及高温机械强度的测试研究表明,SiC晶须对基体的高温机械性能有明显的增强作用。含20vol％SiC晶须的复合材料1200℃下强度达780MPa,比基体材料提高50％。通过SEM和TEM研究,讨论了SiC晶须增强的原因。     

溶胶－凝胶法莫来石被覆SiC复合微粒子的制备

本文采用溶胶－凝胶法以组成为３Ａｌ２Ｏ３２ＳｉＯ２的混合溶胶分别于常压和压力条件下，对ＳｉＣ微细粉进行包覆处理，该涂覆层在低于１０００℃下经１ｈ热处理可结晶成莫来石层，研究了涂覆溶胶浓度、涂覆压力对涂层厚度、结晶化温度等的影响，涂覆后的ＳｉＣ微粉在中高温的表面抗氧化性明显提高     

SiC/Si-MoSi2抗氧化涂层的制备及性能研究

为了提高石墨材料的抗氧化性,在石墨表面制备SiC/Si-MoSi2抗氧化涂层。首先以Si粉为原料,采用液硅渗透法制备SiC内层;然后以Mo粉和Si粉为原料,配制成m(Mo)∶m(Si)分别为1∶5、1.5∶5、2∶5和2.5∶5的料浆,采用料浆烧结法制备Si-MoSi2外层。利用SEM和EDS分析SiC/Si-MoSi2涂层于1400℃氧化前后的结构及组成。结果表明,料浆的Mo粉和Si粉配比对涂层的抗氧化性能有很大影响,当m(Mo)∶m(Si)=2∶5时,涂层具有最佳的抗氧化性能,且表现出长时间的抗氧化能力。     

热力学稳定纳米层状陶瓷——M_(N+1)AX_N三元化合物

本文概要地介绍了一种新型热稳定纳米层状陶瓷——MN+1AXN相的结构、性能和 应用前景。MN+1AXN相为层状六方结构,能导电、导热。其维氏硬度一般在2—5GPa之间,具 有良好的抗热震性和低摩擦系数,并且易于加工。温度较高时,在空气中会发生氧化。     

Si3N4结合SiC窑具的研制及应用

本文根据试验确定了工艺路线,介绍了氯化烧成机理、原材料的选择及生产工艺对制品的影响,生产出的制品技术指标先进,性能优良。作为更新换代的新型窑具材料具有显著的经济效益和社会效益,有着广泛的使用价值。     

SiC晶须的分散研究

利用离心沉降浊度法对SiC晶须在四种不同的分散剂中的分散行为进行了研究,探讨了不同分散剂的分散效果,并对其分散机理进行了分析。结果表明,分散剂的分散能力顺序为AMP-95>DP518>DP270>A-1230。