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在半导体器件和集成电路的研制和制备过程中,随着工艺水平的提高及技术进步,双层乃至多层布线越来越多,尺寸也越来越小。然而,在尺寸较小、台阶较高的情况下,如果在第一层金属上淀积介质后直接形成上层布线就会导致断条现象的出现,这就导致了平坦化成为非常重要的一项工艺。给出了平坦化工艺的基本原理,通过优化工艺条件并进行实验验证,确定了平坦化的最佳工艺条件,可以确保进行一次金属刻蚀以后,片子表面仍能基本平坦,这样就为二次布线打下了良好基础,杜绝了断条现象的产生。 相似文献
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《计算机工程与应用》2014,(2)
针对现有个性化隐私匿名技术不能同时满足面向个体需求的个性化和面向敏感属性值的个性化两方面的要求,引入了粒计算思想。建立隐私保护决策度集合,以刻画不同个体对敏感属性同一敏感值的不同保护要求;基于决策度集合的不同取值建立顶层粒度空间;对每个顶层粒度空间中敏感值赋予不同的出现频率约束,以满足面向敏感值的个性化匿名需求。算法分析及仿真实验结果表明,粒化(α,k)-匿名模型和算法以较小的信息损失和执行时间获得更综合、更合理的个性化隐私保护的实现。 相似文献
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根据单极板微位移电容传感器结构优化设计的问题,提出了一种基于纵横推进法的电磁场仿真参数化建模方法。在建立合理的单极板电容传感器电磁仿真参数模型基础上,首先通过仿真实验选择保护环和绝缘层缺口的最优值。然后依据仿真得到的最优值,选择结构与最优值接近的电容传感器产品对比,取得了较好的研究结果,电容仿真值与实际测量值误差小于0.3%。最后对电容传感器极板倾斜对测量结果的影响进行了研究,极板倾斜2°时测量误差为1.6%。电容传感器结构优化结果满足实际工程要求。 相似文献
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利用熔融接枝法将马来酸酐(MAH)接枝上聚烯烃弹性体(POE),制备了马来酸酐接枝聚烯烃弹性体(POE-g-MAH),探讨了各个因素对POE-g-MAH接枝率和熔体流动速率(MFR)的影响,得出了最佳配方为:50gPOE中加入MAH0.75g,过氧化二异丙苯(DCP):0.125g;反应温度为180℃,反应时间8min。螺杆转速80r/min^-1在此基础上添加第二单体苯乙烯(St),当St与MAH质量比为0.8,接枝率达到1.02%;将POE与接枝产物POE-g-HMA同时作为弹性体改性尼龙6(PA6),研究发现,弹性体含量一定,PA6/弹性体为80/20,POE,弹性体为20%时,体系的缺口冲击强度较纯尼龙提高接近8倍,而其他力学性能改变不大。 相似文献