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42.
4气相沉积技术气相沉积按机理划分,可分为物理气相沉积(PhysicalVapourdisposion)和化学气相沉积(ChemicalVapourdisposion),前者通称PVD,后者通称CVD。4.1PVD法阴极溅射4.1.1阴极溅射的基本原理阴极溅射就是在真空的条件下,用荷能粒子轰击某一靶材(阴极),使靶材表面原子以一定的能量溅出,然后在机件表面沉积的过程,图4-1是阴极溅射系统简图。靶是一平板,由欲沉图4-1阴极溅射系统简囤积的材料组成,将它与电源的负极相联(阴极)。固定装置可以接地、悬空、偏置、加热、冷却。真空槽中充入1.33×10Pa~1.33×10-1Pa的… 相似文献
43.
使用5%OV-101(或SE-30)为固定液的1m长填充柱,以邻苯二甲酸二丁酯为内标物,进行了10%益舒宝颗粒剂的气相色谱定量分析。 相似文献
44.
The amorphous/polycrystalline Si3N4/CrN nancrstructured multilayer films have been prepared by radio frequency (RF) reactive magnetron sputtering. The composition, microstructure and mechanical properties of these films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction (XRD), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and nano-indentation. The CrN and Si3N4 single layer films are polycrystalline face centered-cubic and amorphous structures, respectively. The CrN and Si3N4 layers are nearly stoichiometric. The HRTEM image indicates that the interfaces are planar and modulation structure is clear in multilayers. The hardness values of Si3N4/CrN multilayers are between those of the constituent CrN and Si3N4 films at a substrate temperature of 20℃, and are somewhat higher than those of Si3N4 films at a deposition temperature of 500℃. There is no superhardness effect in the Si3N4/CrN multilayers. Based on the experimental results, the hardening mechanisms in the multilayers have been discussed. 相似文献
45.
本文研究杀螨脒在茶叶和土壤中全残留的气谱分析法。本法是将杀螨脒及其降解物分别用酸和碱水解力2,4-二甲苯胺,用氟丁酸酐衍生为多氟衍生物,用气相色谱,电子捕获检测器测定。最小检测量2×10~(-12)克。样品最低检测浓度0.001~0.0003ppm,方法的灵敏度、准确度和精密度均达农药残留分析技术要求。 相似文献
46.
47.
本文将脚癣药水中的苯甲权,水杨酸衍生为苯甲酸乙酯和水杨酸乙酯。以下十二烷为内标物,采用气相色谱法测定苯甲酸和水杨酸含量。通过实验,选择了最佳的乙醇,硫酸用量,色谱柱及分离条件,实验数据证实该方法测定结果可靠的。 相似文献
48.
用50W连续波CO_2激光器为热源,诱发SiH_4和C_2H_4反应,合成SiC超细粉末。实验确定了反应腔体内压力p、气源中的C/Si原子比、喷嘴内径2r以及激光功率密度与粉末特性之间的关系,并对合成的产物进行物理、化学表征。 相似文献
49.
为了快速、准确地测出在聚对苯二甲酸丁二醇酯合成中,副反应生成的四氢呋喃的含量,确定控制工艺条件,降低成本,采用气相色谱法,直接进样,在反复实验的基础上,选择出稳定的分析操作条件,并给以定性和定量,以有效地测出四氢呋喃的百分浓度。 相似文献
50.
研究开发了一种使用罩式电阻炉、采用气相脱碳法生产白心可锻铸铁管路连接件的先进技术。同时探讨了这种铸件的化学成分、熔炼工艺以及影响脱碳处理的诸因素。 相似文献