低k氟化非晶碳层间介质对芯片性能的影响

讨论了通过合理设计的工艺流程将低k氟化非晶碳材料应用到制造工艺中作为互连介质对集成电路性能的影响。基于一个互连结构简化模型计算出采用低k氟化非晶碳材料作为互连介质后RC延迟、功率耗散和线间串扰的变化情况。采用低k氟化非晶碳介质后,RC延迟和功率耗散随着互连长度的增大而减小,线间串扰也得到显著抑制。     

四氢呋喃生产工艺与市场需求

四氢呋哺，又称1,4-环氧丁烷，简称THF，分子式为C4H8O7无色透明液体，有乙醚气味，凝固点为-65℃，沸点为66℃，相对密度为0．887（20℃）。具有低毒、低沸点、流动性好的特点，是一种重要的有机合成原料和优良的溶剂，具有广泛的用途。     

业界快讯

<正>应用材料公司推出新Carina系统克服高k介电常数/金属栅极刻蚀难题应用材料公司推出Centura(r)Carina(tm)Etch系统用于世界上最先进晶体管的刻蚀。该系统能提供45nm及更小技术节点上采用高k介电常数/金属栅极的逻辑和存储器件工艺扩展所必需的材料刻蚀轮廓,是目前唯一具有上述能力并可以用于生产的解决方案。这套系统高性能的关键之处在于其拥有知识产权的高温阴极。高温工艺可以提供平坦垂直的轮廓,不会产生传统温度工艺下带来困扰的高k介质材料残留和硅材料凹陷。     

540kN力基准机砝码摆动的研究

日本国家计量研究院(National Research Laboratory of Metrology)540kN静重式力基准机中的振荡分量主要是由于砝码的摆动引起的。本文对砝码的动态特性做了详细的分析，给出了其摆动的轨迹图，并对由于砝码摆动引起的相对不确定度进行了评估。提出了一类采用传感器并联的叠加系统(以下称叠加系统)输出的力值信号来评估砝码动态特性的信号处理方法。它对研究静重式测力机砝码摆动提供了有效的分析方法。     

球磨过程对α－Al_2O_3注浆成形的影响

对平均粒径为１．４μ的α－Ａｌ_２Ｏ_３以ＰＡＡ为分散剂，以石膏为模具，进行了注浆成形，并在１６００℃下烧结３小时。料浆的球磨过程对生坯的相对密度，烧结体的收缩率及其抗弯强度有很大影响。烧结体的抗弯强度为２３０－３５０ＭＰａ。实验表明：当料浆中ＰＡＡ含量为０．２ｗｔ％（以Ａｌ_２Ｏ_３干基为准），ｐＨ值为８．８时素坯相对密度最大，其值为４９．３％。料浆中颗粒的充分分散有助于提高素坯的相对密度及烧结体的抗弯强度。建议在浇注前对料浆进行充分球磨。     

电性能技术在高分子材料中的应用

简要叙述了绝缘材料电性能技术常规测试的基本原理．并从宏观上介绍电性能技术在高分子材料方面的几种新的应用，展望了电性能技术的发展前景。     

TIS导航处理器软件的设计与实现

本文介绍了ＴＩＳ导航处理器软件的设计方法，编制了系统模拟软件以及装机模拟软件，定位结果验证了方法的可行性。本文还介绍了在编制软件过程中遇到的几个问题及其解决办法。     

微波腔传感器在工家业生产中的应用

本文主要介绍微波腔体传感器用于工家业生产过程中对物质的湿度、温度、厚度和材料的电磁参数测量的基本原理，综述半个世纪以来，微波测量湿度、温度、厚度以及材料电磁特性等的应用概况。     

用测井资料预测储层的润湿性

岩心电性及润湿性实验测量结果表明，润湿性对阿尔奇饱和度指数n有很大影响。通过引入相对润湿指数，发现阿尔奇饱和度指数n的对数与相润湿指数之间存在很好的线性关系，为利用饱和度指数预测储层的润湿性提供了依据。同时使用电磁波传播测井和微球形聚焦电阻率测井求出饱和度指数随地层深度的变化曲线，预测储层的润湿性。现场井资料处理结果表明，该方法能快速直观显示不同深度处储层润湿性的变化。     

一种关于数字测图外业未知控制点坐标情况下的作业方法

数字测图外业用全站仪采集碎部点坐标数据,在未知控制点坐标情况下怎么办?介绍了一种简单、实用和高效的作业方法外业用控制点假定坐标进行设站和后视建立一个相对坐标系,观测相对坐标,内业编写程序把碎部点相对坐标转化成理论坐标成图.