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BST薄膜电容器的制备及其调谐性能研究 总被引:2,自引:2,他引:0
利用氩离子束溅射技术在SiO2/Si衬底上淀积Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜,该薄膜在氧气气氛中500℃退火处理30 min,然后利用集成电路平面工艺将薄膜制作成叉指结构电容器。X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析表明,BST薄膜具有钙钛矿结构,薄膜表面光滑,晶粒致密且分布均匀。调谐性能测试结果表明,该电容器具有较高的电容调谐率,在室温100 kHz频率下,对于2 V的直流偏压,其调谐率和损耗因子分别为62%和0.02。这说明具有此结构的BST薄膜电容器可望应用于微波集成电路。 相似文献
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介绍三峡工程大体积混凝土裂缝的评判标准以及沿缝凿槽、钻孔压水、超声波等裂缝检查方法.在三峡工程大体积混凝土裂缝处理方法的生产性试验中,采用喷涂、粘贴、充填和灌浆等方法对裂缝进行了处理,效果良好,保证裂缝处理符合规定要求. 相似文献
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简单介绍了数据通信技术基础网络一些基本知识,主要为DDN网络、帧中继网络的概念及技术特点。通过结合个人在汕头电信局的实际维护工作经验,对一些数据通信专线的基本故障处理方法进行分析。 相似文献
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猫咪老爸 《数字社区&智能家居》2004,(10):61-63
曾几何时,一部《铁臂阿童木》的动画片风靡世界,让儿时的我们陶醉不已。我想现在的铁臂阿童木也该人到中年了吧,它那流畅的画面、悠扬的歌曲至今还不时的浮现在我们的脑际里。今天,我就和大家一起使用3D Flash Animator自己DIY一下《铁臂阿童木》的经典场景,重温这儿时的经典吧! 相似文献
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岳阳长江干堤大部分修建在软弱地基上,大堤加高培厚后堤高均在8m以上,采用反压平台处理,保证了堤基稳定,节省了工程投资,其实施效果说明该处理方法经济适用,施工简单方便,对于类似堤基加固具有参考价值。 相似文献
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