硅的等离子体深腐蚀

湿法化学腐蚀已被广泛地应用于敏感器件传感结构的微细加工中.近年来,在VLSI中等离子体干法腐蚀已成为获得细线条图形的可行技术.然而,干法腐蚀工艺无论是等离子体腐蚀或反应离子腐蚀,相对于湿法腐蚀来说都是比较慢的.在需要深腐蚀的应用中(如电子束光刻的对准符号刻蚀,电路隔离槽或敏感器件的微细结构腐蚀)当前都着力提高腐蚀速率.在传感器的开发中,主要问题之一是封装,为简化到处于测量环境的传感器的外部连接,希望通过传感器背面进行连接.在化学传感器中,背面连接最为有利.因为假如所有的引线都     

企业购并的价值评估方法

本文根据企业购并实际需要，对目标企业购并的收益与成本进行分析，从而达到价值评估的目的。     

以EMD作基础的氧化锰制成湿度敏感器的新技术

最近国外报道把ＥＭＤ粉末等制成湿度敏感器的技术，但对其作用机理的解释尚有欠妥之处，本文除简介此类湿度敏感器的工艺之外，还利用我们研究水蒸气对ＥＭＤｏＡ附的理论予以阐释，并确认其合理与否     

集成电路 流量传感器

木文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技 术? 理论和实验结果表明, 这种传感器具有很高的灵敏度, 特别适合于液体小流量的测量     

增加股东收益的关键—未来企业实用模式

自从1986、1987年油价下跌以来,石油工业取得了很大的科技进步科技进步降低了经营成本,也缩减了组织发展规模,这些都具有重大意义.但是目前在石油公司的国内市场上,资源正越来越少,而在谈判合同和经济条款中越来越多的却是本国政府诡辩之词,这与包括地面井和深水井技术的科技进步越来越背道而驰.面对这些压力,许多企业没能给股东以满意的回报,这导致了现在大西洋两岸的合并浪潮,这些合并在协同配合基础上被证明是正确的,因为对知识员工的更合理分派降低了人力资源方面的费用.但是,随着科学技术的进步,使得最荒芜的环境得以开发,并且逐步扩大的主干产业合并也并不能扫除固有的障碍,未来的从同样的资源里所取得的进步并不能满足股东要求的回报.在劳动力老龄化、经验基础衰退和对知识员工竞争激烈的背景下,为提高效率,成功的石油公司必须考虑转换机制.     

用双波段红外成像技术探测军事目标

美国陆军研究实验室及其合作伙伴目前正在发展双波段红外敏感器及其信号处理技术,以期利用双波段红外敏感器的成像能力来探测军用车辆.双波段红外成像技术的优点是能在存在杂乱回波的情况下探测目标.它能区分目标和诱饵,并能使敌方采取的诸如施放烟雾、进行伪装以及发射照明弹之类的红外对抗措施失效.     

PVC敏感膜组分比对K~＋─ISFET响应特性的影响

本文研究了以二苯并—３０—冠—１０作为敏感物质的ＰＶＣ膜Ｋ~＋—ＩＳＦＥＴ传感器，以及改变膜中的敏感物质和增塑剂的组分比对Ｋ~＋—ＩＳＦＥＴ响应特性的影响．同时，对Ｋ~＋敏感膜的响应机理进行了讨论。实验结果与理论分析相符。     

新一代高分子（聚合物）传感器

本文介绍了继硅传感器之后出现的另一类新型高分子传感器的原理、种类、特性和发展趋势。