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4气相沉积技术气相沉积按机理划分，可分为物理气相沉积（PhysicalVapourdisposion）和化学气相沉积（ChemicalVapourdisposion），前者通称PVD，后者通称CVD。4.1PVD法阴极溅射4.1.1阴极溅射的基本原理阴极溅射就是在真空的条件下，用荷能粒子轰击某一靶材（阴极），使靶材表面原子以一定的能量溅出，然后在机件表面沉积的过程，图4-1是阴极溅射系统简图。靶是一平板，由欲沉图4-1阴极溅射系统简囤积的材料组成，将它与电源的负极相联（阴极）。固定装置可以接地、悬空、偏置、加热、冷却。真空槽中充入1．33×10Pa～1．33×10-1Pa的… 相似文献
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105.
106.
钛系生物医学工程材料 总被引：1，自引：0，他引：1
综述了国内外新型钛系生物医学工程材料的研究开发和临床应用状况,指出了钛系生物医学工程材料今后的研究课题和发展方向。 相似文献
107.
空压机曲轴轴承的修复金维廉（泸州天然气化学工业公司四川纳溪县６４６３００）我公司氨厂有一台空气压缩机，为转化工段提供工艺用空气。１９９５年３月２３日，该空压机曲轴箱体发生事故。停车打开曲轴箱盖检查发现：二号主轴瓦、三号主轴瓦烧毁，推力瓦烧坏；与二号主... 相似文献
108.
根据PE管的特性，阐述了运用PE管穿插更新技术进行管道修复的机理和方法，介绍了一些主要的现场施工技术。 相似文献
109.
110.
PU1水处理No3系统空气冷却器是引进德国(GEA)的成套设备，在运行中发生D型管束端板变形及管束开裂的严重损坏形象。经分析研究采取有效措施，用焊接方法修复空冷器获得成功。 相似文献