Investigation of the ion dose non-uniformity caused by sheath-lens focusing effect on silicon wafers

The ion dose non-uniformity induced on the wafer surface by modal and discrete focusing effects is investigated for different plasma densities and implantation parameters. Measured impact radius agrees well with values obtained by simulation. The optical pattern observed on the wafer surface is correlated with the ion dose by FT-IR measurements. The applicability of a previously proposed vertical ring is demonstrated, the ring being able to considerably improve the ion flux uniformity by shifting the discrete focusing effect out of the wafer surface and reducing the modal focusing. Experiments are performed in an inductively coupled plasma produced in hydrogen.     

PCB技术的革新与进步

文章概述了近几年来在PCB工业中生产技术的革新与进步情况,特别是直流电镀(镀层均匀性、填孔镀等)、表面涂(镀)覆(化学镀镍/钯浸金和直接浸金等)技术的革新与进步,推动了PCB工艺技术的发展。     

The study on the model reference adaptive control with proportional derivative action

This article presents a study on the novel method of model reference adaptive control (MRAC). As a new contribution, the derivative action is included into MRAC control to improve the controller performance and efficiency. The stability is analysed using a recent technique called immersion and invariance. The simulations of derived laws are presented based on nonlinear models.     

基于具身认知的老年人多通道感知与行为研究

目的 基于老年用户需求,结合用户多通道感知特征,分析老年人使用产品时具身的体验与感受,并得到用户偏好,促进老年产品设计,以满足用户生理、心理需求。方法 以老年康复辅具为设计载体,采用优序图法、行为地图法分析数据,构建用户需求与具身行为的关联模型,挖掘交互过程中的问题动作及相关接触点,以指导后续设计研究。基于感性工学的0阶感性概念法,构建0阶-PAD情绪词汇衍生模型。运用语义差分法得到用户对产品的感性意象数据,采用主成分分析、皮尔逊相关性分析等方法得到满足用户需求的问题动作、相关接触点偏好。结果 依据感性意象与喜爱程度评价结果衍生的设计要素进行老年流食杯设计实践,应用模糊综合评价法对设计方案进行验证。结论 从用户具身的知觉感知与需求出发,结合感性工学相关方法获得老年用户对使用产品的偏好,为设计实践提供客观的理论依据与实践验证,对老年产品设计提供一定的设计研究参考。     

西安洪庆地铁车站地基湿陷性研究

以西安地铁洪庆站为研究对象,针对现行“湿陷性黄土地区建筑规范”评价方法所得结果误差较大的问题,开展了现场原位试坑浸水试验,表明了该车站位于自重湿陷性黄土场地。通过数值分析方法,模拟车站施工过程,分析了不同埋深条件下车站基底分布实际竖向应力,揭示了地铁车站修建过程中地层内的卸荷特征,建立了不同埋深车站基底及围护结构基底竖向压缩应力分布函数。应用Flamant弹性解,建立了基底黄土实际竖向压缩应力随埋深变化的计算公式。通过结构压缩屈服应力与综合物理特征量的关系、压缩孔隙比与初始孔隙比比值与压缩应力与结构压缩屈服应力比值的关系,建立了计算浸水饱和黄土湿陷系数的“浸水结构破坏湿陷性”评价方法,并与现场试坑浸水试验结果进行比较,验证了评价方法的可靠性。对黄土地区城市轨道交通工程设计中湿陷变形量预测和地基处理深度的合理确定具有一定的参考借鉴意义。     

锆合金在HCl和H2SO4溶液中的耐蚀性能研究

采用化学浸泡、电化学测试和物理检测技术,研究了HCl和H2SO4溶液中锆合金的腐蚀行为.结果表明,锆合金在还原性的HCl和低浓度H2SO4溶液中,具有优异的耐蚀性,而在高浓度的氧化性H2SO4溶液中腐蚀速率显著增大.物理检测结果显示,腐蚀的锆合金表面均匀地覆盖着弥散分布的微小颗粒状ZrO2.还原性的HCl和低浓度H2SO4溶液中ZrO2膜保持了原有的致密性,增强了锆合金的耐蚀性能.而高浓度H2SO4溶液中,在其强氧化作用下,锆合金基体/膜界面处不断生成ZrO2.当膜增加到一定厚度时,氧化膜的晶格参数与金属的晶格参数不一致,产生内应力,降低了氧化膜的附着力,直至氧化膜破裂,露出新鲜的锆合金表面.继之,新鲜的锆合金再次被氧化,以此循环往复,导致锆合金在浓H2SO4溶液中腐蚀加剧.     

水泥代替矿粉对沥青混合料性能的影响分析

通过分析矿粉和水泥在沥青混合料中的作用机理,分别以不同比例的水泥代替矿粉,对沥青胶浆做延度、软化点、DSR、BBR等试验;同时,以AK-16和SAC-16为例,用不同比例的水泥代替矿粉,分别做浸水马歇尔试验、单轴压缩试验、动稳定度等试验,分析水泥代替矿粉后对沥青混合料的高、低温性能和水稳性等性能变化。试验结果表明,以一定比例的水泥代替矿粉可以有效的改善沥青混合料的性能。     

907A钢材在间浸海水环境中的极化行为研究

本研究针对舰船主体材料907A钢所处的间浸海洋环境,在模拟20%间浸率工况下开展了6个周期干湿交替腐蚀条件下的阴极保护参数研究。通过对自然腐蚀和常规参数阴极保护两种状态下907A的动电位极化行为研究,确定了间浸条件下907A材料的腐蚀行为和阴极保护参数及其变化规律。研究结果表明,间浸工况比海水全浸腐蚀对结构材料具有更强的腐蚀性,间浸条件下907A材料的阴极保护电位应比传统的全浸状态下的阴极保护电位-0.85VCSE低,为获得在间浸条件下的最佳保护效果,优化的阴极保护电位建议为-0.90VCSE。     

草地贪夜蛾对添加橙皮油助剂的阿维菌素敏感性分析

为了提高化学药剂对草地贪夜蛾的生物活性,分别采用了浸虫法、浸饲料法和浸虫、饲料法比较了不同橙皮油助剂添加量下草地贪夜蛾对阿维菌素的敏感性,同时借助表面张力仪测定了不同橙皮油助剂添加量下药液的表面张力.结果表明,3种方法获得阿维菌素对草地贪夜蛾的LC50值以浸虫法最高,浸饲料法其次,浸虫、饲料法最低.随着橙皮油助剂含量的...     

黄河龙青段主要环境工程地质问题分析思路

介绍了黄河上游龙青段主要环境工程地质问题的分析思路，以达到抛砖引玉，交流和提高电工程地质勘测水平的目的。