非晶硅薄膜的沉积速率研究

利用PECVD方法在硅片上制备了非晶硅薄膜,通过正交实验得出影响薄膜沉积速率和折射率的主要参数为气体流量和射频功率,分别研究了这两个参数对沉积速率和折射率的影响.结果表明当气体流量低于240sccm时,薄膜沉积速率随气体流量增加而增加,而折射率则随之减小;当流量大于240sccm时,沉积速率出现饱和,折射率的变化并不明显.当射频功率低于120W时,薄膜沉积速率随着功率的提高而增大,而折射率则随之减小;当功率大于120W并进一步提高时,沉积速率成下降趋势,折射率则随之增大.     

MOCVD的气动控制回路设计

介绍了MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）液态源金属有机物化学气相沉积设备，研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路，实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性，确保了工艺的重复性和稳定性。     

非制冷红外焦平面阵列读出电路的BCB牺牲层接触平坦化(英文)

研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计微桥阵列与读出电路的集成。利用该方法成功将2μm的电路表面突起,平坦化为表面起伏56 nm的平面,可替代会给器件带来颗粒和损伤的化学机械抛光(CMP)技术。并在该平坦层上方成功进行了非晶硅敏感薄膜的沉积、微桥结构的图形化以及同时作为牺牲层的BCB的释放。通过实验研究了BCB膜层的厚度与转速、固化温度的关系,实验发现BCB的收缩率随温度小范围变化,约为30%。研究了BCB的等离子刻蚀特性,表明该材料适合用等离子刻蚀的方法进行接触孔的刻蚀和牺牲层释放。最后,利用BCB牺牲层接触平坦化技术成功地在读出电路(ROIC)芯片上制作了160×120面阵的非制冷红外焦平面阵列。     

硅深刻蚀中掩蔽层材料刻蚀选择比的研究

基于硅的高深宽比微细结构是先进微器件的关键结构之一,在其加工工艺中,具有高选择比的掩蔽层材料是该结构实现的重要保证.研究了在感应耦合等离子体刻蚀过程中射频功率和气体流量对不同材料刻蚀性能的影响,获得了在SF6等离子体中Si,SiO2,MgO以及Al等材料的刻蚀速率,同时获得了在该等离子体中Si相对SiO2,MgO以及Al的选择比.通过比较研究,得到了硅深刻蚀中最佳的掩蔽层材料及刻蚀工艺参数.     

宽带DBF系统多通道校正及性能分析

针对数字波束形成(DBF)技术在宽带扩频通信系统中的应用,提出了一种基于复数傅里叶变换(CFFT)的宽带多通道校正方法。采用宽带线性扫频信号作为通道幅相误差校正的测试信号,在采集实际接收机数据的基础上,分析了信噪比、频谱泄漏以及由通道校正滤波器引起的群时延对校正精度的影响。通过修正复系数FIR滤波器(CFIR)的频域响应特性可以有效消除群时延的影响。依据宽带测试信号的时域和频域特性,选择适当的FFT点数,解决了测试信号频谱泄漏引起的校正精度低的问题。理论分析与实测结果都表明了该方法的有效性。利用实际数据仿真了天线阵列波束方向图,结果显示校正后的波束图十分接近理想情况下的波束图,两者峰值增益相差仅仅0.1dB,指向误差近似为0。     

硅基材料和矿渣应用于水泥基材料的研究进展

水泥基材料是目前使用量最大的建筑材料,在实际应用过程中,水泥基材料会出现损坏,达不到预期的性能要求.水泥水化产物中存在大量结晶的Ca(OH)2,影响各种水泥水化产物之间的粘结性,造成水泥基材料性能的降低.如何增强水泥基材料的性能成了国内外研究的热点,需要找到能够有效改善水泥基材料性能的方法.查阅国内外相关文献发现,将粉煤灰、硅灰、纳米SiO2(因三种材料的主要组分为SiO2,以下统称为硅基材料)或矿渣掺入到水泥基材料中,因其具有火山灰反应,并能起到填充作用,可明显提高水泥基材料的性能.掺合料的加入可降低水泥基材料中Ca(OH)2含量,减小其晶粒尺寸,使C-S-H凝胶的数量增多,改善水泥基材料的孔隙率,提高其性能.粉煤灰和矿渣成分中有部分玻璃态物质,能减少水泥浆体用水量,增加和易性;具有较低的火山灰性,适量掺入能降低水泥浆体的水化速度;含有粉煤灰或矿渣的水泥基材料早期强度较低,后期强度较高.硅灰与纳米SiO2的火山灰活性较高,能促进水化,适量掺入能够使水泥基材料早期强度大幅提高,但后期强度发展较慢;同时也会增大水泥基材料早期收缩,增加其结构开裂的风险.不同掺合料复掺后能产生协同增强效应,可获得性能优异的复掺改性水泥基材料.本文主要介绍了硅基材料和矿渣在水泥基材料中的应用,从反应机理、水化热、强度、孔隙率等方面来阐述其在水泥基材料中的研究现状和相关成果.对目前研究中存在的相关问题进行了分析总结,以期为制备性能优异的水泥基材料提供一定的参考.     

基于超像素和光流引导的正射影像拼接方法

影像拼接是生成大规模数字正射影像的关键技术之一,但现有的影像拼接方法在进行多个影像拼接时存在拼接线穿过明显地物导致的鬼影现象。光流是观察者和场景间相对运动引起的影像边缘等的相对运动,其中,大光流对应影像间的变化区域,可用于检测正射影像间的明显地面区域。提出一种基于光流引导的新型影像拼接方法,通过超像素的密集光流提取影像中明显的地物信息,以避免接缝穿过明显的地面物体。采用由粗到细的接缝线优化策略,并在超像素级别上利用Dijkstra算法进行最佳拼接区域检测,从而提高接缝线检测的效率。在此基础上,结合归一化互相关成本函数在像素级别上进行拼接线的像素级优化,获得最优的接缝线。实验结果表明,该方法从主观视觉上能够生成高质量的接缝线,在保证拼接效率的情况下,SSIM质量评价指标较Dijkstra方法、图割方法以及商业软件OrthoVista得到明显提高。     

结合多通道注意力的遥感图像飞机目标检测

针对尺度多样化、目标密集、成像质量较差的遥感影像上飞机目标识别精度低的问题,提出结合平行层特征共享结构和注意力机制的遥感飞机目标自动检测模型AFF-CenterNet。该方法采用“编码-解码”的主干网络结构,以ResNet50进行基础特征提取;引入空洞卷积与注意力约束的平行层特征共享结构进行特征融合,有效提高了算法的特征提取能力;在UCAS-AOD和RSOD公共遥感数据集上分别进行实验,检测精度达到96.78%,相较于Faster R-CNN、SSD、YOLOv5s和原CenterNet算法分别提高了6.2、7.2、1.48和16个百分点。实验结果表明,该AFF-CenterNet算法在保持一定计算效率的条件下最大化CenterNet的小目标表征能力,有效提升了遥感影像中飞机的检测精度,对实现遥感影像飞机快速检测具有一定的参考意义。     

卫星导航信道模型综述

卫星导航信道具有宽带、时变和城区复杂多径等特征,为了能够充分挖掘、有效预测和评估全球导航卫星系统（Global Navigation Satellite System,GNSS）的性能,需要对各种环境中的卫星信道进行测量和建模研究,文中主要讨论了卫星导航信道的测量和建模及其研究进展.首先给出了信道建模的方法和与卫星导航相关的测量活动的汇总,然后讨论比较了几种常见的卫星导航信道模型,最后探讨了卫星导航信道建模面临的挑战以及未来的研究重点.     

无线局域网MAC接入性能研究

主要研究无线局域网MAC接入性能,从IEEE 802.11协议、无线局域网接入性能两个方面对这个问题进行了研究,无线局域网灵活,安全性高,扩展方便的优势是有线网络不能比的,但是无线局域网MAC接入性能在复杂的网络运行环境下存在较大的波动,有必要对其进行深入研究。