基于补偿原理的光刻机掩模台多电机控制研究

光刻机掩模台的宏动台由4个永磁直线电机构成,每侧2个,对称分布在宏动台的两侧。宏动台做大行程、宽范围、高速直线运动。掩模台宏动台共由4个永磁同步电机驱动,两侧电机的同步与否不仅影响到宏动台的定位精度,而且不同步会对宏动台框架产生扭矩致使其产生机械形变,造成机械损伤。本文提出基于补偿原理的同步控制,将台体两侧的位置差作为补偿量,叠加到滞后一侧电机的给定电压信号中,实现两侧电机的同步控制。