Temperature dependent interfacial and electrical characteristics during atomic layer deposition and annealing of HfO2 films in p-GaAs metal-oxide-semiconductor capacitors

We have investigated the temperature dependent interfacial and electrical characteristics of p-GaAs metal-oxide-semiconductor capacitors during atomic layer deposition(ALD) and annealing of HfO₂ using the tetrakis(ethylmethyl) amino hafnium precursor. The leakage current decreases with the increase of the ALD temperature and the lowest current is obtained at 300℃ as a result of the Frenkel-Poole conduction induced leakage current being greatly weakened by the reduction of interfacial oxides at the higher temperature. Post deposition annealing(PDA) at 500℃ after ALD at 300℃ leads to the lowest leakage current compared with other annealing temperatures. A pronounced reduction in As oxides during PDA at 500℃ has been observed using X-ray photoelectron spectroscopy at the interface resulting in a proportional increase in Ga₂O₃. The increment of Ga₂O₃ after PDA depends on the amount of residual As oxides after ALD. Thus, the ALD temperature plays an important role in determining the high-k/GaAs interface condition. Meanwhile, an optimum PDA temperature is essential for obtaining good dielectric properties.     

人力资源管理--企业战略规划的重要支柱

任何企业的战略规划都应是在分析企业的优势和劣势、机会和风险之后,确定企业的目标和位置,将企业的资源配置与发展思路有效统一,使企业取得和保持竞争优势与具体的行动计划一致.企业成功的战略不仅决定于战略本身的明智和优良,关键取决于企业的自身管理即资源的有效配置.人力资源作为企业的核心资源,应在企业战略规划中扮演重要角色,以下从3个方面探讨如何使人力资源管理成为企业战略规划的支柱.     

模拟三维MOSFET的集成系统

文章介绍了一个基于ＳＵＮ４工作站上新的ＭＯＳ器件的三维模拟集成系统ＸＤＭＯＳ－３Ｓ的基本理论。重点阐述了方程的离散化方法、数值算法、与ＳＵＰＥＲＭⅢ的接口以及其良好的图形显示界面。ＸＤＭＯＳ－３Ｓ是一个从工艺模拟到器件特性输出为一体的适合ＭＯＳ器件在整个有较域的各种特性的实用模拟软件。     

4H-SiC钒离子注入层的特性

研究了钒注入4H-SiC形成半绝缘层的方法和特性，注入层的离子浓度分布由蒙特卡罗分析软件TRIM模拟提取. 采用一种台面结构进行I-V测试. 钒注入层的电阻率与4H-SiC层的初始导电类型关系很大，常温下钒注入p型和n型SiC的电阻率分别为1.2E9～1.6E10Ω·cm和2.0E6～7.6E6Ω·cm.     

基于压缩式双共轭梯度算法对大规模电源/地线网络的快速分析

采用压缩式双共轭梯度算法分析大规模电源/地线网络.首先以稀疏存储结构对大规模的系数矩阵进行压缩处理,然后采用双共轭梯度算法对网络进行模拟.双共轭梯度算法采用2组共轭向量组作为搜索方向,收敛速度快.实验数据表明:在保证精度的情况下,该算法在加快电路网络分析求解效率的同时,大幅度地节省了计算所占用的内存,它适用于分析超大规模的电源/地线网络.     

灰色马尔可夫链在预测高温后钢筋强度退化中的应用

灰色预测模型可以在基础资料缺乏的条件下建立模型进行预测,但对于波动性较大的数据,它的预测精度比较低,而马尔可夫链模型可以克服数据波动较大的局限性.在灰色预测的基础上,引入马尔可夫链预测,建立起了灰色马尔可夫预测模型,并且针对高温后钢筋强度退化的试验数据进行了实证分析.证明了利用灰色马尔可夫链对高温后钢筋强度退化随时进行预测,是一种行之有效的新方法.     

四面受火钢筋混凝土偏压柱承载力的灰色预测

根据钢筋混凝土偏心受压柱在不同温度(20℃~650℃)后的承载力试验的结果,利用灰色系统理论建立了预测四面受火后钢筋混凝土偏心受压柱剩余承载力的GM(1,1)模型.并以后验差比值方法检验了模型的精度,检验结果表明该模型的精度较高.     

SiC外延工艺中的气体流体模型

构建了热壁CVD法生长α-SiC外延的气体流体力学模型,并通过COMSOL模拟软件计算对基座的几何形状进行设计.结果表明基座的几何形状改变,影响衬底表面的气流分布;基座有一定的倾斜角度,可以使其表面气流分布均匀,有利于得到高质量的α-SiC外延片.     

邓小平国企经营者建设理论探析

邓小平同志关于干部问题的论述,是邓小平理论的重要组成部分。小平同志指出:“今后一个长时期,至少到本世纪末的近二十年时间内,我们要抓紧四件工作。”其中第一件工作就是“进行机构改革和经济体制改革,实现干部队伍的革命化、年轻化、知识化、专业化”。邓小平同志反复强调了“要进一步找年轻人进班子”和如何加     

提高掘进工作面供电系统可靠性的途径

介绍了掘进工作面供电系统存在的问题和由此产生的隐患,有针对性地采取各种技术措施,从而大幅度地降低了停电停风造成的瓦斯积存事故,为矿井安全生产奠定了基础。