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11.
设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s. 相似文献
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959H型轮胎式装载机是我公司应用最新技术和现代设计手段自主开发的H系列装载机产品.它采用国内最佳组合的传动系统,双泵合流技术和加强型车架结构,在整机操纵舒适性,人、机安全性等方面做了更为科学的设计,广泛应用国内外先进成熟技术,其优异的性能,高寿命、高可靠性、高效率、低油耗和合理的经济成本紧跟世界先进水平. 相似文献
13.
文章介绍了动车组牵引变流器冷却系统构成和原理,对影响功率器件IGBT的散热特性进行了分析,对自然冷却、强迫风冷、液体冷却、相变冷却几种冷却方式特点做了一一分析,说明采用相变冷却方式的优点,即高效率,均匀热表面温度,无局部过热点,可靠安全,适用于动车组牵引变流器的冷却。 相似文献
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设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s. 相似文献
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基于某矿采区回风巷道围岩具体的工程地质情况,探讨了工作面巷道的临时和永久支护方式。对其巷道进行锚杆、锚索支护参数分析并提出支护设计要求。3117回巷断面为:宽5m×高3.2m,掘进长度700m,该巷道沿底板掘进。本巷道施工层位为3#煤层,工作面水平标高为+439m~+479m。采用锚杆+金属网+钢筋托梁+锚索联合支护。详述了采区回风巷工作面锚杆、锚索施工工艺步骤,对于相同条件下的巷道围岩锚杆、锚索支护施工起到了参考作用,取得了良好的技术和经济的效益。 相似文献
19.
浅析西方城市理性规划的发展及影响 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对现代城市规划理性主义发畏历程的回顾,结合我国规划工作的实践,分析了理性主义对现代城市规划的推进作用,提出了其中所存在的问题。 相似文献
20.
提出了一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2.08kHz,品质因子Q为21.4,灵敏度为93.7mV/g. 相似文献