集成电路版图图形的最小反转

本文讨论了一类图形的划分问题。导出了最小划分数的计算公式。进而研究了大规模集成电路中,正负图形的最小反转数。     

集成电路掩模版图的一个数学模型

集成电路掩模版图(简称“版图”),多可划分为一些矩形单元,整个版图,由这些矩形单元组合而成。若版图中有曲线形,也可由矩形组合代替之。我院的SDS—1电子束曝光机,是在SK—2电子计算机控制下进行掩模版的曝光制版。每一曝光单元为一矩形,每一矩形需存储四个参数,整个版图的数据要占用大量的存储单元。并且,数据编排,纸带穿孔等机外工作量很大,出错机会多。因此,使尽可能多     

LSIC版图扫描场分割方式的研究

对版图扫描场分割方式进行了研究,详细论述了ｍ ×ｎ Ｓ形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。