硅的等离子体深腐蚀

湿法化学腐蚀已被广泛地应用于敏感器件传感结构的微细加工中.近年来,在VLSI中等离子体干法腐蚀已成为获得细线条图形的可行技术.然而,干法腐蚀工艺无论是等离子体腐蚀或反应离子腐蚀,相对于湿法腐蚀来说都是比较慢的.在需要深腐蚀的应用中(如电子束光刻的对准符号刻蚀,电路隔离槽或敏感器件的微细结构腐蚀)当前都着力提高腐蚀速率.在传感器的开发中,主要问题之一是封装,为简化到处于测量环境的传感器的外部连接,希望通过传感器背面进行连接.在化学传感器中,背面连接最为有利.因为假如所有的引线都     

寄语21世纪淮河治理规划

回顾治淮50周年辉煌成就,感慨万分;展望治淮未来50年,思绪万千。 淮河在我国七大江河中是一条不大的流域,但在中国又是非常重要的一个流域,历朝历代都把淮河的治理纳入治国的重要方略之中,这是由于淮河流域的经济、地理和文化地位所决定的;淮河又是在我国大江大河治理中比较困难的一条河流,许多有识之土提出过治理淮     

Bi3+对纳米MnO2水热合成的影响研究

在中性和酸性条件下，以MnO2作为锰源，通过水热合成了纳米MnO2，通过XRD和TEM对产物进行的观察表明，在酸性条件下，向溶液中添加一定量的Bi^3 ，产物的晶型由α型向γ型转化，产物形貌由针状、丝状向颗粒状转变。     

韩国标准化协会情况介绍

一、KSA概况 韩国标准化协会(KSA)始建于1962年,是非营利的政府认可机构,其主要任务是:通过提高标准化和质量管理水平,来改进产品质量和性能,促进国家工业的发展。 到1992年末,KSA共有3550个团体会员,其中生产企业占95.6％,社会团体占20％,政府机构占1.4％,其他占1.0％。 目前,KSA除总部外,还在全国设有12个地区性办事机构和一个培训中心。     

测量过程控制与企业计量保证的研究（二）

３．企业计量保证方法的应用如上所述，计量保证方法是计量保证方案的发展。利用计量保证方法在生产现场实现测量过程控制，实际上是借助计量保证方案的原理、方法、程序来解决生产过程中的计量检测任务。美国倡导的计量保证方法，就是利用核查标准与控制图实现对测量过程的控制。同时，也可以利用其它等效方法，如数字分析，实现对测量过程控制。还可以利用核查标准配合专门编制的计算机软件进行测量过程控制。例如，美国空间宇航合作公司利用“主控量规验证方案”（Ｈａｎｄ一ＴＯｄＶｅｒｉｎｃａｈｏｎＰｒｏｇｒａｍ）实现对机械加工车…     

改革实验材料管理制度的设想

改革实验材料管理制度的设想中南工业大学王丽群，袁乐平实验材料费在高校实验成本中占很大的比重，目前由于管理制度不健全，存在着大量的浪费现象，改革材料管理制度，杜绝浪费，对降低实验成本，提高实验效益，有着很重要的意义。一、实验材料管理制度的现状及其问题在...     

COOZ中的时段演算

本文在ＣＯＯＺ中引入了连续时间的概念，建立了用连续时间表示的对象时钟引入时段演算来表示对象的实时约束和历史约束，并给出了一个火警自动预报系统的实例描述。文中对实时状态型转化、可积极及孤立点、历史性约束的分类等问题作了进一步的探讨。     

人造皮毛防风材料的研究

本文论述了以乙烯—醋酸乙烯共聚物为主要原料研制出了定型和手感效果较好的人造皮毛防风材料。前言人造皮毛背面涂防风材料即防风胶,经加热塑化后起到定型和防风的作用。所用材料有橡胶、塑料、无     

杂波数据建模及其计算机模拟

本文以箔条干扰试验数据为例,对小数据量的杂波数据,在预处理的基础上建立了AR模型,并由此在IBM PC/AT微型计算机上产生了与原始数据基本特性一致的模拟随机序列,最后检验了模拟数据与原始数据的一致性。