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11.
试验以Ti2O3,Ti3O5和TiO2作为初始膜料,在ZZS700-6/G型真空镀膜机上采用O2-离子束辅助蒸发制备氧化钛薄膜.用XRD检测方法确定各种膜料和薄膜的相成分,并全面地分析了各种膜料的蒸发特性和薄膜;用分光光度计测量薄膜的透射率,并分析薄膜的光学性能.试验表明,在采用Ti2O3,Ti3O5和TiO2作为蒸发制备氧化钛薄膜时,钛的氧化物中存在Ti3O5固态同一蒸发相;各种膜料在蒸发时,发生分解,熔池中的物质成分逐渐转变成同一蒸发相成分,最终完全转变成同一蒸发相.  相似文献   
12.
离子辅助蒸发TixOy制备氧化钛薄膜及特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
胡小锋  薛亦渝  郭爱云 《真空》2005,42(6):36-38
采用离子辅助沉积的方法,分别以TiO2和Ti3O5为初始膜料在K9玻璃上制备了氧化钛薄膜,并研究了离子束流密度对以Ti3O5为膜料制备的薄膜透射性能的影响.实验结果表明,热处理前薄膜都为无定形结构;热处理后有明显的锐钛矿结构(101)择优取向,以Ti3O5为初始膜料制备的薄膜吸收优于以TiO2为膜料制备的薄膜;薄膜透射率极值随束流密度增大有临界值.  相似文献   
13.
为了提高织物磨毛生产效率,以三菱FX3G-40MR可编程控制器为主站,HLP-NV系列变频器为从站,采用台达DOP-B1OS411触摸屏作为系统的人机界面,使用MODBUS协议的主从方式进行通信,在磨毛机机械结构的基础上设计了磨毛机控制系统。该控制系统成功应用于八辊砂皮磨毛机上,通过实际生产运行,发现该系统运行平稳,故障率低,磨毛效果良好,张力调节快速平稳,达到了预定的控制要求,与传统磨毛机相比,整体性能有较大的提升。  相似文献   
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