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102.
概述了为IC生产中绝缘体上硅(SOI)、硅?多晶硅、浅沟槽隔离(STI)、氧化物(PMD和ILD)、钨(W)、铜(Cu)和铝(Al)等不同化学机械抛光(CMP)用途开发的CMP设备的进展,讨论了新一代CMP设备(MIRRARCMP)对IC器件生产的影响及其特性。 相似文献
103.
近日,松藻煤电公司2007年重点部署项目,松藻煤矿调度主传输线路改造工程,完成井下5500m的通讯主传输线铺设。 相似文献
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105.
通过PLC与变频器相结合的方式实现了对高校实验室通风机组的自动化控制。该系统不仅满足了高校实验室对化学实验通风工艺的要求,同时便捷地实现了控制的智能化及能源的节约化。 相似文献
106.
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某建筑深基坑南侧有一段岩土混合边坡,下伏岩层面横向,边坡开挖至坡脚时出现了整体失稳。该文从裂缝分布特征、基坑周边环境、岩土结构、开挖支护方式等方面分析了失稳的成因。根据边坡稳定性现状,提出加固处理方案。 相似文献
108.
本文结合合肥市人民检察院技术综合楼智能化系统的设计实例,总结了检察院智能化系统建设过程中应遵循的原则以及采取的技术创新点。 相似文献
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万力 《计算技术与自动化》1997,16(1):62-64
有限元法是工程计算的有效方法,本文通过运用SAP-5程序进行斗轮机门座设计这一实例,说明计算机在实际工作中对此方法的有效应用。 相似文献