氧化石墨烯覆盖电极的双紫外光离子化传感器

对光离子传感器的结构进行了优化研究,针对光离子化传感器灯面残留物干扰问题采取了自清洁双紫外灯式传感器的新型结构,同时利用有限元法对传感器气流场进行仿真实验。通过对仿真实验的结果进行分析,对微型传感器进行了进一步的气路优化,并最终确定选择轴向流动结构的电离室。采取新型纳米材料氧化石墨烯对传感器的收集极板进行表面修饰,改善了光离子化传感器的气敏特性,提高了灵敏度。通过实验分析,详细阐述了传感器的各项性能指标,测定传感器针对甲苯的最低检测限为2.5×10~(-7),并对线性度响应进行了分析,线性相关系数达到了0.993,通过实验验证了双紫外传感器对整体气敏特性的提升,为可挥发性有机物(VOC)气体检测提供了理想的检测单元。     

针对MEMS水声传感器封装的声振耦合仿真技术研究

提出了一种针对MEMS矢量水声传感器封装结构的声振耦合仿真技术，以揭示传感器封装对带宽、灵敏度等关键性能的影响和规律以及传感器在水下的声场分布情况， 建立传感器封装水下仿真模型，分析封装结构对传感器带宽及灵敏度的影响，并研究封装内外的声场空间分布规律，得到声源信号透过封装后的衰减损失约为0.5ｄＢ，比较封装材料对传感器性能的影响，得出传感器的带宽和灵敏度为一对固有矛盾的结论，为优化传感器封装设计提供理论指导。