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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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江平 《CAD/CAM与制造业信息化》2004,(5):60-61
一、引言 福建某厂生产的水平钢化炉用于生产汽车及建筑用的圆柱面弯曲钢化玻璃.其中的主要部件--弯曲钢化成型区--的作用是使玻璃弯曲钢化成型.它的主要结构是将丝杆螺母副安装于弯曲机构内.其工作原理为两侧的丝杆螺母副的旋向相反,每个螺母可在其铰链套内滑动,通过链传动,每个丝杆螺母副的位移量一致,从而使得弯曲机构形成一个圆柱面,如图1所示. 相似文献
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以正硅酸乙酯、钛酸正丁酯和聚乙二醇等为主要原料,采用溶胶-凝胶法成功合成了多孔SiO2-TiO2系块状材料。500℃焙烧2h后材料呈现非晶态结构。引入较多钛量时,使材料的孔径分布变窄、平均孔径下降,但增加了比表面积。在80℃热水中浸泡72小时以后,吸附一脱附曲线的类型和形状几乎没有变化;随着Ti含量的增加,比表面积和孔容积的变化率减小。多孔材料在98℃的20%硫酸溶液中重量损失率随Ti含量变化不大,Ti引入并不能提高材料在酸液中的耐蚀性;但引入Ti使多孔材料在95℃NaOH碱液中的耐蚀性明显改善。 相似文献
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