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111.
112.
一种粗精结合的图像反馈自动调焦方法 总被引:4,自引:0,他引:4
自动调焦是保证显微成像系统实时获得清晰图像的该装置借助对图像清晰度评价来自动搜索到正焦面.对图像清晰度的评价采用了Krisch边缘梯度函数和高频分量函数相结合的方法,边缘梯度函数用于大步距粗调焦,高频分量函数用于小范围内小步距精调焦.这种方法既提高了效率,又克服了噪声的干扰.通过对不同微器件的多次调焦实验验证,该方法的调焦误差最大达到6um,满足了成像系统的要求. 相似文献
113.
近场光存储方案中,头盘间距动态测控技术是将近场光存储理论和技术实用化的一项关键技术。基于强度干涉原理的飞高检测方案中,微型飞行头位姿控制是影响测量误差的一项关键因素。提出一种基于视觉反馈的定位控制系统,重点介绍其系统结构,分析机械控制元件和图像处理算法精度。试验表明,微型飞行头定位系统精度优于11μm,引起飞高检测误差在1nm范围内,满足高精度头盘间距动态测试要求。 相似文献
114.
Based on the former performance capacity experiments of the magnet-friction energy dissipation devices, including the permanent magnet-friction energy dissipation device (PMF) and electromagnet-friction energy dissipation devices (EMF) , a 5-story steel frame model with spacious first story, is designed and made according to a scale of 1/4. The magnet-friction energy dissipation devices can realize continuously varied controlling force, with rapid response and reverse recognition. Therefore, they overcome shortcomings usually found in energy dissipation devices whose force models are invariable. The two kinds of devices were fixed on the flexible first story of the structure model, and the shaking table tests have been carried out, respectively. In these tests, the performance of the devices and their effectiveness in structural control were confirmed. In this paper, the test results and analysis are discussed. 相似文献
115.
基于LVDT的台阶信号拾取方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度。实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0.5μm,重复测量精度为±0.015μm. 相似文献
116.
微操纵系统自动调焦方法的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
讨论了在微操纵系统中显微成像的自动调焦方法。首先介绍了一些常用的自动调焦方法,然后重点讲述了清晰度法自动调焦原理.对各种清晰度评价函数进行了分类,并通过理论和实验分析比较了在微操纵系统中各种评价函数的性能,最后确定了适合微操纵系统的清晰度评价函数。 相似文献
117.
分析了出气管组件的工艺特点,介绍了出气管组件铆装模具的结构与工作原理,以及模具主要零部件的设计要点与加工工艺。 相似文献
118.
基于跳变线估测的相位包裹去除法 总被引:3,自引:0,他引:3
针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的“拉线”现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。 相似文献
119.
120.
在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm. 相似文献