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真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究 总被引:2,自引:1,他引:1
真空混合漏孔 ,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等 ,示漏气体除存在超长反应时间外 ,还存在超长的延迟时间和保持时间。只有经该延迟时间后 ,检漏仪才能探得信号。为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求 ,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性 ,在真空室内对检漏元件集体充氦 ,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔 ;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定 相似文献
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