溶胶-凝胶法制备低含水量石英玻璃体材料

使用溶胶凝胶技术及四氯化碳气氛的化学干燥方法,成功制备出光学质量良好的纯石英玻璃样品.整套工艺流程耗时2周,制备过程所需最高温度为1 200℃,远低于传统工艺制备石英玻璃所需要的高温.由红外吸收谱可估算出样品中OH含量约为2.8×10-4.     

电子束曝光技术

大规模集成电路的微细化和高集成化发展速度惊人,预计在八十年代后半期会出现最小图形尺寸为0.5μm的16M动态随机存取存储器(RAM)的样品,在九十年代初会出现最小图形尺寸为0.25μm的64M动态RAM的样品。对此,一般认为以往所用的光学步进曝光机的分辨率极限达到了亚微米的上限。