MEMS粘附问题研究

针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望.     

MEMS技术及应用的新进展

MEMS是微电子和微机械的集成体 ,目前制备 MEMS的材料和工艺等得到很大发展 ,但其研究理论尚不成熟。本文综述了当前制备 MEMS的几个重要步骤 (即设计、材料选择、加工、封装以及测试 )的发展水平和存在问题 ;并总结了 MEMS应用的最新进展和未来前景     

石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析

石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析＊贾建援仇原鹰甄明文贵印（西安电子科技大学电子机械学校西安７１００７１）（中国工程物理研究院５所）０引言目前，国内外批量生产的石英挠性加速度计的测量精度已达到或超过１μｇ，但由于产品在制造或装配中的误差，使得成...     

虚拟产品的特征参数化设计

分析了虚拟产品特征参数化的特点和典型求解过程,描述了特征参数化过程中的知识获取、参数提取和知识表达等核心内容,并介绍了基于通用CAD软件平台的虚拟产品特征参数化设计软件的二次开发和集成过程,并以某类伸缩杆天线为例实现其特征参数化设计的产品数据描述模型。     

一种压电伺服装置的机电动力学分析

针对机械振动环境条件下的光束稳定技术的需求,基于压电理论和机械振动理论,提出一种压电伺服机电装置,并建立了机电动力学系统的模型,对基于复合控制策略的随动问题进行了系统仿真分析,给出了具体仿真算例。结果表明,该系统可有效地控制位移,具有精度高、快速性好、响应频带宽的优点,并给出作动位移与作动力对装置设计的制约关系。     

硅基大位移低驱动电压静电微驱动器变形分析

针对目前横向加载单向变形静电微驱动器存在的位移过小或驱动电压过大的问题,提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低电压静电微驱动器模型,将弹性力由传统意义的恢复力改变为驱动力,推导出微驱动器挠度变形的控制方程．通过仿真发现,该驱动器的驱动位移高达145μm,远大于目前微驱动器的变形量; 驱动电压仅为5V,远低于目前微驱动器的驱动电压值．     

微机械陀螺仪的微结构分析与设计

针对基于微米技术的微机械陀螺检测功能微弱的现象,本文建立了振动轮式微机械陀螺仪的机电系统动力学模型,经对某微陀螺结构的仿真计算发现,哥氏阻尼力随激励哥氏力增大而增大,造成电容检测信号极为微弱,无论激励的幅度和频率如何,为此,本文给出了一种新型振动轮式微陀螺结构,可减小哥氏阻尼力,相对增大了激励哥氏力,这种新型结构显著增强了电容检测信号,而且具有双轴微陀螺功能,对耦合线加速度不敏感等特点。     

微悬臂梁粗糙表面粘附建模分析

针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面“截球型”粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;讨论了粗糙面凸峰对粘附力的影响,得到影响粘附力的主要原子是凸峰顶部少数几层原子的结论;仿真出光洁度等级分别为10级,11级和12级的镍悬臂梁粗糙面粘附力数值结果,为微悬臂梁的结构设计提供了理论基础．     

O型减振器的结构分析与实验研究

本文对电子设备上所使用的一种新型的变厚度夹层的壳式减振器——O型减振器进行了理论分析(静、动力分析)和实验,对其减振防冲性能作了深入研究并提出了有工程意义的改进措施。     

双层隔振系统主动控制的建模与仿真

针对双层隔振系统多自由度耦合振动的特性,采用隔振对象与中间质量的相对位移作为检测量,提出了一种双层隔振主动控制系统模型,并在M atlab/S imu link中建立相应功能模块,完成了双层隔振主动控制系统的仿真分析。仿真结果表明:该模型可有效实施振动控制。