IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究

本文主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度.分析了影响光刻对准的各个主要因素.主要包括对准标记、工艺层、隔离技术等,提出了一些改善光刻对准效果的方法。     

GH33A合金在蠕变-疲劳交互作用下的裂纹扩展特性

通过对 GH33A 合金在蠕变与疲劳复合加载条件下的系列试验,发现拉伸保时使蠕变与疲劳发生了交互作用,加快了疲劳裂纹扩展速率,加速裂纹早期进入失稳扩展,大大降低了疲劳寿命。GH33A 合金具有良好的抗蠕变裂纹扩展能力,但疲劳裂纹扩展阻力较低。由此讨论了拉伸保时对裂纹扩展的影响,并对在蠕变-疲劳交互作用下的裂纹扩展模型作了探讨。     

重铬酸盐明胶宽带反射全息图

在较高的膨化温度下，使用重铬酸盐明胶（ＤＣＧ）制作了宽带反射全息图，在４５７．９ｎｍ～６３２．８ｎｍ波长范围内反射率大于８０％，光谱带宽大于１７５ｎｍ。     

宽黏度域轴流桨及在非牛顿流体中功率特性的实验研究

根据某反应的特定工艺过程要求,提出了一种适合宽黏度域的高效轴流式搅拌桨--SP304型轴流式搅拌桨,该桨叶片呈空间扭转状,且具有曲率,可减少流体阻力,提高排出性能.并设计了一套实验装置对这种高效轴流桨在非牛顿流体中的功率特性进行研究,得到了功率常数K_p、Metzner常数k_s和功率特性曲线,为工业化装置的设计提供实验数据.通过观察实验中不同浓度、不同转速下的流体流动细节,可以获得整个流动场的概念,对搅拌桨离低高度、桨间距等参数设计具有重要的指导意义.根据实验结果对此高效轴流搅拌桨成功地进行了工业应用.     

浅谈南岸干渠工程渠道伸缩缝施工工艺

结合南岸干渠工程概况,介绍了渠道伸缩缝处理的几种方法,重点就双组分聚氨酯砂浆灌缝的施工方法及施工注意事项进行了论述,实践证明聚氨酯砂浆的止水效果良好,灌缝质量完全满足设计要求。     

超深亚微米IC设计中的天线效应

本文主要分析了超深亚微米集成电路设计中天线效应产生机理及其消除方法,同时还给出了天线比率的具体计算方法。将这些方法应用于雷达信号处理SOC芯片后端设计中,解决了设计中存在的天线效应问题,保证了一次流片成功。     

基于物理层时间捕获的GIS局部放电无线监测系统时间同步方案研究

在GIS局部放电无线监测系统中,时间同步是一个重要环节,而目前的无线时间同步方法在开销、能耗和精度等方面不能满足无线监测系统的要求。文中首先分析了影响无线网络时间同步精度的各项不确定性延迟,为此,引入了物理层时间捕获技术,在此基础上提出了一种新的时间同步方案。然后,基于CC2530芯片和TCXO温补晶振搭建了硬件实验平台,并对其进行了电磁抗干扰分析。最后,通过实验确定了时间捕获的响应延迟为4μs,据此对同步进行修正后,得到了文中方案单次同步带来的误差为亚纳秒级,同步精度随时间的漂移约为1×10~(-6)。通过理论分析和实验验证,该方案完全满足无线监测系统的时间精度要求,可以灵活应用于无线监测系统。     

采用超级电容器供电的功放电源系统设计

为了解决功放变压、整流、滤波式电源的直流电压不稳定和便携式蓄电池电源充电时间长、使用寿命短等问题,分析研究了超级电容器储能系统的优点,提出一种采用超级电容器供电的功放电源系统。采用四个超级电容器组构成两组正负电源,通过智能控制使两组电源轮流充放电,能够很好地解决上述问题,具有良好的使用前景。     

热脱附气相色谱质谱法测定PVC人造革袋式法VOC中甲苯散发量的不确定度评定

轻工行业标准《人造革合成革试验方法挥发性有机化合物的测定》采用热脱附气相色谱质谱法,对人造革合成革袋式法挥发性有机化合物进行测定。本文依据该轻工行业标准规定的方法,按照JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》中的规定,选用国产的PVC人造革样品,对其袋式法挥发性有机化合物中甲苯的不确定度进行评定,主要分析了检测过程中引入不确定度的三个因素,分别为气体采样泵引入的不确定度,标准物质引入的相对标准不确定度,标准工作曲线拟合引入的相对标准不确定度,得出当甲苯的测试结果为76.8μg/m3时,取扩展因子k=2(置信概率95%),扩展不确定度为11.0μg/m~3。     

IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究

主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度,分析了影响光刻对准的各个主要因素,主要包括对准标记、工艺层、隔离技术等,提出了一些改善光刻对准效果的方法.