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一种压阻式微压力传感器 总被引:8,自引:1,他引:8
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号,它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。 相似文献
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一种新型控制器的设计方法 总被引:1,自引:0,他引:1
提出一种新的控制器设计方法.该方法利用相平面上控制曲面与电容板极间的场强在变化上的相似性,以构造电容板极间场强的方式来设计控制器,通过调节板极电压和场强的构造系数,可达到调节控制器的目的.该控制器具有物理意义清晰,可灵活调节控制强度等优点. 相似文献
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