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原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受到研究者的关注。本文介绍了PEALD技术的基本原理以及相对于其他薄膜沉积技术的优势,之后从前驱体和基底材料的影响等方面介绍了利用PEALD制备Ti、Co、Ni、Cu、Ru、Pd、Ag、Ta、Ir和Pt等过渡金属薄膜以及它们在微电子领域的应用现状,最后进行了总结和展望。 相似文献
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通过对安钢动力区110Kv站内铅酸蓄电池和镉镍蓄电池的改造,使改造后的直流电源能确保站内正常及事故状态下继电保护、事故照明、直流操作机构分、合闸等用电要求。 相似文献
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对某高架桥双墩柱大悬臂预应力盖梁进行了分析,从大悬臂预应力盖梁的受力模式和计算方法等方面进行了论述,分析了计算结果,以期指导该类型盖梁设计。 相似文献
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随着建筑行业的发展,混凝土技术成为施工基础阶段的重点工作。本文从混凝土施工的材料、条件和施工的工艺角度人手,重点分析了如何有效的进行混凝土施工的问题,并结合相关的案例,对当前的施工提出了切实可行的方案,解决了施工中容易出现的问题。 相似文献
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胡玉莲郭群樊启鹏王正铎王院民刘忠伟杨丽珍 《真空科学与技术学报》2018,(11):990-995
采用等离子体增强原子层沉积技术分别以Ni(amd)2、Ni(dad)2为镍、碳前驱体,氢等离子体为还原剂成功沉积了碳化镍薄膜。两个沉积过程中,碳化镍薄膜厚度都随着反应循环次数的增加而线性增加。利用石英微晶天平技术对碳化镍薄膜的沉积过程进行了原位在线测量。初步提出碳化镍薄膜的沉积机理,其中由等离子体作用产生的氢原子对沉积过程有重要作用。一方面,在等离子体中原子氢与Ni(amd)2或Ni(dad)2发生化学反应,生成Ni、挥发性的N-叔丁基乙酰胺盐和碳氢化合物,这些镍在镍表面上有吸附和分解的趋势。此外,原子氢对吸附的碳氢化合物脱氢生成碳化镍和大量碳物种具有促进作用。另一方面,预计它还会刻蚀碳化镍表面的无定形碳和石墨,或者将碳化镍分解成具有催化活性的金属镍。 相似文献