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微流控芯片在分析化学和生物检测方面有着广阔的应用前景。对集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备工艺进行了研究与分析。最终使用SU-8快速制备阳模,使用PDMS转移图形得到具有微流控通道的PDMS盖片;在玻璃基板上加工Pt电极,除了需要外露的部分电极外,其他部分以薄层PDMS保护,得到电极基板;将PDMS盖片与电极基板半固化键合制得同时具有加热和温度传导电极以及CE高压电极的PDMS-玻璃芯片。ANSYS模拟分析证明加热芯片热惯性小,加热时温度分布效果好。 相似文献
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设计了一个多输入单输出的模糊神经网络,通过计算带静止无功补偿器电力系统的负荷能力极限,对系统的电压稳定性进行评估,有功与无功负载的不确定性、有功与无功发生器、母线电压以及SVC的参数都被考虑进来。首先,Kohonen自组织变换聚类所有节点的有功和无功负荷来减少输入量个数,这样就限定了网络的大小减少了计算量。其次,采用一种混合非线性隶属度函数,将输入变量模糊化。最后,设计一个模糊输入的三层前馈神经网络进行训练评定电力系统的负荷能力裕度。 相似文献
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近日,国内最大规模使用纯碱生产的废盐泥做脱硫剂,进行锅炉烟气脱硫治理装置投入正式运行。作为山东海化集团有限公司5×130t/h锅炉烟气脱硫工程,由山东山大能源环境有限公司负责全面设计、施工、调试的EPC总承包工程,现已完成2。脱硫系统168试运行等工作,并且通过了潍坊市环境监测中心站检测验收,达到了环保要求。经过半年试运行,运行状况良好,达到设计要求,每年减少对大气排放二氧化硫约17687.0t。 相似文献
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为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连接以形成惠斯通电桥。给出了MEMS工艺流程,微加工制造了尺寸为8.9 mm×5.6 mm×0.4 mm的流速传感器芯片。搭建了低流速和高流速气流通道实验装置,对传感器的惠斯通电桥施加50μA的恒定电流(CCA),实现了0~50 m/s范围内的流速测量。结果表明,传感器在低流速(0~2 m/s)时的灵敏度约为81.6 mV/(m/s),在高流速(2~50 m/s)时的灵敏度约为51.9 mV/(m/s),最大功耗仅约为1.03 mW。 相似文献
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BOSS系统起源于电信行业.随着电信固定话音及数据、无线话音及数据、无线数据等业务的开展,电信BOSS系统应运而生。随着广电行业业务的蓬勃开展.BOSS系统也逐渐从电信系统引进到广电系统里来。 相似文献
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针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了 一种基于非晶锗(a-Ge)薄膜热电阻的低功耗、宽量程柔性MEMS流速传感器.非晶锗热电阻材料具有较高的TCR系数(约为-0.02/K)和室温电阻率(5Ω·m),传感器在较低的工作温差和功耗下可获得宽量程的流速测量.阐述了该柔性MEMS流速传感器的设计结构、工作原理、3D有限元建模和热-流场仿真结果.利用聚酰亚胺衬底空腔膜上的四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件.四个非晶锗热电阻组成一个惠斯通电桥,同时结合热损失和热温差原理来实现宽量程流速测量和测向.仿真结果表明,惠斯通电桥采用恒电流供电只需120μA,使得非晶锗热阻的工作温度与环境温度之间的温差不高于6 K,就可对0~50 m/s范围内的流速进行测量,且功耗在1.368 mW以内.该柔性流速传感器易于采用MEMS技术批量制造,可贴于曲面应用,非常适于物联网等低功耗流速传感领域. 相似文献
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