采用金属掩模和电解离子水清洗的Cu/HSQ镶嵌技术

为了逻辑器件高速化 ,必须做到布线低阻化及层间介质膜低电导率。为此 ,本次采用低阻Ｃｕ布线和低电导率ＨＳＱ (ＨｙｄｒｏｇｅｎＳｉｌｓｅｑｕｉｏｘａｎｅ) ,首次制作了Ｃｕ/ＨＳＱ结构。采用如下新工艺克服了制作上的难题 (ＨＳＱ膜劣化 )。即 :(1)采用金属 (ＴｉＮ)掩模制作ＨＳＱ槽技术。 (2 )ＣＭＰ后清洗时 ,可有效去除粒子玷污的纯水电解水清洗技术。结果 ,此Ｃｕ/ＨＳＱ布线的层间电容与原来采用抗蚀剂掩模的工艺相比 ,可约低 17% ;而且与Ｃｕ/ＳｉＯ2 相比 ,电容可减小近 30 %。同时 ,采用由本工艺形成的Ｃｕ/ＨＳＱ结构制作器…     

偏航工况下水平轴风力机气动性能数值分析

基于计算流体力学方法(CFD),通过求解URANS方程与SST湍流模型,对Tj?reborg 2 MW风力机风轮在偏航角0°、10°、30°工况下的气动特性进行计算,结果表明数值计算的功率与实验值吻合较好。分析不同偏航角下风轮的功率、推力、叶片各截面切向力、法向力载荷和压力分布的变化规律。偏航工况下一个旋转周期内风轮功率、推力呈现3P波动性质,叶片气动载荷沿旋转方向呈现正弦交变性质,最大载荷发生在方位角90°附近区域。     

光电跟踪系统非线性新息自适应卡尔曼滤波算法

为解决非线性部分状态卡尔曼滤波算法中由于线性化误差所导致的滤波精度下降问题,提出采用UT变换方法计算系统状态误差方差,及基于新息自适应调整系统噪声方差,进而构成一种新的非线性自适应部分状态卡尔曼滤波算法,并总结出详细算法结构.同时,将此方法应用到非线性测量光电跟踪系统中,并与U卡尔曼滤波和非线性部分状态卡尔曼滤波进行性...     

流动控制组合对风力机翼型性能影响的实验研究

为了研究基于涡发生器和Gurney襟翼流动控制组合的效果,对风力机专用翼型DU93-W-210进行风洞实验。实验工况包括光滑翼型、涡发生器、Gurney襟翼及不同组合方式。实验结果表明:Gurney襟翼与涡发生器组合不仅能获得更高的升力系数,而且能有效抑制流动分离,失速后阻力大幅降低。Gurney襟翼和涡发生器组合将2种装置的优势结合,得到更好的流动控制效果。双排涡发生器组合和单排涡发生器相比能更大程度延迟流动分离,进一步提高最大升力系数。     

美国panda project公司最新开发300-400条引脚的面组装LSI封装

最近 ,美国ｐａｎｄａｐｒｏｊｅｃｔ公司开发了 30 0— 4 0 0条引脚新型面组装ＬＳＩ封装。此封装由画框状体和兼有芯片、基座的框架盖构成。从框架引向四方引出引线端相似于ＱＦＰ。但其是按 2列— 3列地配置端子 ,形成引脚。 2层或 3层结构的引线端从框架侧面横向伸展、在中途向下弯曲、与印刷基板的连接间距局部不同。即 :端子的 1/ 2处间距为 0 8ｍｍ ,其余 1/ 2为 0 5ｍｍ。由于一次性回流焊和印刷基板布局较简单 ,所以 ,设置了 0 8ｍｍ间距部分。试制的 32 0条引脚封为 2 7ｍｍ× 2 7ｍｍ (包括引线端 )。与 0 5ｍｍ间距的 30 4…     

S_1流面上带层流分离气泡的边界层的求解方法

文中建立了S_1流面边界层积分方程,吸入方程及无粘流与边界层相互作用选代解法。文中应用边界层积分方程反解法同无粘流与边界层相互作用模型进行迭代,求解了带有分离气泡的S_1流面边界层。文中的算例表明,计算结果与实验结果符合很好。     

150 MW汽轮机高压缸级内流场的数值模拟

采用Numeca软件对带隔板汽封和叶顶间隙汽封的高压缸二、三级叶栅流动进行了数值模拟,并与不带汽封的二、三级叶栅流场进行了比较.结果表明,汽封泄漏损失使级效率显著下降,汽封出口处的低能流体使端壁的附面层变厚,端壁摩擦损失增大;隔板汽封出口处的气体周向速度较小,导致了较大的负攻角流动,它与下排叶栅的横向流动相结合大大促进了下通道涡的发展.     

叶片正弯曲对涡轮静叶栅流场影响的试验研究

对一典型涡轮静叶型开展了叶片正弯曲对涡轮叶栅流场性能影响的试验研究。测量了直叶栅和 +10°、+2 0°、+30°弯曲叶片叶栅出口流场。结果表明 ,对该叶型叶栅 ,随着叶片正弯曲角的增加 ,通道涡一直位于叶栅端壁附近 ,其强度变化很小 ,但叶栅出口尾缘涡明显增强 ,并向叶栅中部扩展 ;同时 ,随着叶片正弯曲角的增加 ,叶栅端部总损失变化不大 ,但叶栅中部总损失迅速增加 ,导致叶栅总损失随叶片正弯曲角的增加而增大 ,直叶片叶栅总损失最小     

电视跟踪系统非线性测量延迟滤波算法研究

针对电视跟踪系统存在的脱靶量现象所导致的不能直接进行目标运动参数预测及预测精度降低问题,提出在测量方程中引入一不确定因子γ以表明系统存在测量延迟,且由γ的概率来表示系统的延迟量。同时根据不敏卡尔曼滤波(UKF)原理,给出带有测量延迟的非线性系统的状态估计计算方法(称其为测量延迟UKF算法)。并在电视跟踪伺服控制系统中对此算法进行仿真实验。实验结果证明此算法在电视跟踪等效复合控制系统中的有效性,且实验结果也表明在测量方程中引入一不确定因子γ以表明系统存在测量延迟是有效可行的,而且此算法可大幅度降低速度预测误差和跟踪误差。