精密微小孔的电解—磨削复合扩孔加工技术研究

采用电解—磨削复合扩孔加工技术加工精密微小孔,探讨了其加工机理,分析了多种因素对微小孔加工精度和表面质量的影响,如加工电压、进给速度、电极转速。通过对加工参数的优化,采用微小金刚石导电磨针在厚度为0.3mm的不锈钢片上加工出高精度、低表面粗糙度的微小孔。     

轴向冲液电解线切割50CrVA试验研究

采用轴向高速冲液电解线切割方法加工50CrVA弹簧钢,利用高速流动的电解液快速带走加工产物。通过对加工区域的流场进行仿真,选出合适的喷嘴直径,并对影响加工的重要因素(加工电压、占空比、频率、进给速度)进行单因素试验,研究各参数对加工缝宽的影响。最后,采用优化参数加工出缝宽约为1 mm的典型零件。     

UV-LIGA制作微细群电极工艺研究

微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率.研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术.以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极.     

竖直液膜方法制备大长径比微细工具电极

利用COMSOL拟合进行电场仿真分析确定电流密度分布,通过实验研究了偏置量、电解液浓度和往复运动参数对所制备电极形貌的影响,从而制备微细工具电极。研究发现:在无偏置、0.2 mol/L的KOH条件下,采用竖直液膜电化学刻蚀方法可制备尺寸均匀的大长径比微细工具电极,并且往复运动有助于提高所制备电极的均匀性。     

电解线切割加工技术试验研究

分析了应用电解线切割加工工艺在厚不锈钢板上加工高深宽比结构的可行性。为解决加工高深宽比结构时的排屑问题,在分析该工艺特点的基础上,采用了轴向冲液的方法。在自行搭建的加工系统中,进行了不同加工参数的一系列试验,以研究加工电压、电极丝进给速度、电解液浓度和冲液速度对该工艺的影响。最后,对电解线切割加工参数进行优化,加工出了缝宽为160μm、深宽比高达30的微型花键。     

UV-LIA制作超高微细阵列电极技术研究

超高金属微细阵列电极在微细加工领域和生命科学领域有广泛应用。本文采用UV-LIGA技术制作超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶、提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基底的结合力,保证去胶后电铸金属的完整性。选取优化的工艺参数：单次注射式涂胶;前烘110℃/12h;适量曝光剂量;分步后烘50℃/5min、70℃/10min、90℃/30min;反接电极电解10V/15min等,获得了高900μm、线宽300μm的金属微细阵列电极结构。试验表明,UV-LIGA技术是一种高效、经济的制造超高微细阵列电极的有效手段。     

阳极振动往复运丝微细电解线切割试验研究

电解加工产物的及时输运是微细电解线切割加工中亟待解决的问题。提出通过线电极往复运动和工件低频振动共同强化加工间隙内传质过程来提高微细电解线切割的切缝质量的方法;构建了线电极往复运丝、工件振动的微细电解线切割试验系统;采用正交试验方法,分析了线电极运丝幅值、运丝频率、工件振动幅值和振动频率4个因素对切缝平均宽度和切缝轮廓均匀性影响的主次和趋势,并筛选出了优化的线电极运丝和工件振动参数;采用优化参数加工出了结构清晰、完整的微梁结构。     

电解磨削复合加工精密扩孔研究

研究电解磨削技术应用于9Cr18不锈钢微小孔扩孔工艺,重点分析了加工电压和进给速度对加工质量的影响.实验结果表明,采用电解磨削工艺,选择合适的加工参数可加工出高精度、低表面粗糙度的微小孔.     

UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究

利用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术加工微细金结构.针对所沉积的微结构出现凹形的现象,建立了加工过程的电场数学模型,利用有限元方法对这种现象进行仿真研究,发现当光刻胶厚度大于微结构厚度时,可以明显改善这种情况.另外,试验还研究了阴阳极距离、电流密度对沉积层表面平整度的影响.优化参数组合,最终制备出厚度0.2 mm...     

NaCl-乙二醇溶液微细电解加工Ti6Al4V实验研究

采用NaCl-乙二醇的有机盐溶液作为电解液,其具有的少、无氧环境可避免电解加工过程中钛合金表面产生钝化膜,且能提高钛合金的可加工性。通过实验对比了加工电压、脉冲频率、占空比、主轴转速对加工缝宽的影响,进而得到最优的加工参数,并在厚度为0.7 mm的Ti6Al4V工件上加工出了微细结构。