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《微纳电子技术》2019,(6):480-485
玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。  相似文献   
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为了研究废水中有机物的去除问题,针对某企业含有机物废水进行了对比试验,采用了Fenton 絮凝联合工艺去除废水中的COD(化学需氧量)和浊度,考察了初始pH值、H2O2投加量、H2O2与Fe2+投加物质的量比、反应时间、絮凝剂投加量以及絮凝剂投加时的pH值对COD以及浊度去除效果的影响。结果表明,采用最佳工艺参数组合后,浊度去除率和COD的去除率分别为99.32%和97.27%。  相似文献   
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研究了导电剂种类和导电剂含量对磷酸钒锂电化学性能的影响。以Li_3V_2(PO_4)_3为正极材料,研究了石墨烯、乙炔黑和Super P Li三种导电剂对磷酸钒锂电化学性能的影响。恒电流充放电和电化学阻抗测试结果表明,不同的导电剂对电极的电化学性能有显著的影响。以Super P Li为导电剂的磷酸钒锂正极材料表现出最高的放电比容量和最优异的倍率性能,交流阻抗值小。在此基础上探究了Super P Li含量对磷酸钒锂电化学性能的影响,结果表明添加质量分数10%Super P Li的电池具有较小的阻抗和较高的放电比容量、循环性能和倍率性能。  相似文献   
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为解决三电极电化学传感器分辨率过低、光学探测仪器成本高昂的困扰,设计了以STM32为核心的NO_2电化学传感器监测系统,利用低成本高分辨率电化学传感技术测量大气中NO_2的体积分数。实验表明:-10~10℃时传感器响应时间T90受温度影响严重,传感器灵敏度温度特性曲线S (T)=0. 197 60+0. 002 13T-0. 001 21T2(-10℃相似文献   
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