高质量二氧化硅薄膜的快速热处理

超大规模集成电路产品(如EEPROM、高密度DRAM和高性能CMOS电路等)由于其几何尺寸小、结浅,需要非常薄的高质量5～25nm二氧化硅薄膜。但是,在制备这些器件的工艺过程中,相互矛盾的工艺要求限制了常规炉子的使用范围。1.由于沟道过量的掺杂剂再分布,所以在炉中难以控制阈值调整。高质量的氧化膜需要高温处理,然     

硅溶胶原位生长在棉织物抗皱整理中的应用

溶胶-凝胶技术具有整理流程短、工艺过程清洁等优点,能在纺织品上形成复杂的三维网状结构,赋予织物特定的功能。利用溶胶-凝胶技术,结合马来酸-衣康酸(MA-IA)对液氨棉织物进行抗皱整理,比较了硅溶胶经不同方式处理织物的整体效果,研究了最佳硅溶胶处理方式对液氨棉织物物理机械性能的影响。结果表明:溶胶-凝胶的最佳处理方式为低温原位生长法,配方为:硅酸钠2%,n(硫酸铵)︰n(硅酸钠)=1︰8,DL-泛酰内酯3%。将硅溶胶处理前后的织物进行MA-IA抗皱整理,发现硅溶胶处理对织物WRA和白度的影响不大,但显著提高了断裂强力保留率,而撕破强力略有下降;采用硅溶胶低温原位生长法处理液氨棉织物后再用MA-IA整理液整理,能得到DP等级3.0,断裂强力保留率70%的抗皱棉织物。     

纤维种类与织物结构对接触冷暖感的影响

研究不同纤维种类和不同织物结构对织物接触冷暖感的影响规律。以羊毛、棉、亚麻、蚕丝、涤纶和锦纶6类纤维共36种织物为研究对象,采用KES-F7THERMO LABOⅡ型冷暖感测试仪测试了36种织物的接触冷暖感值,并分析织物接触冷暖感的影响因素。结果表明:羊毛织物的接触暖感最强,锦纶织物的接触冷感最强,棉织物、亚麻织物的接触冷暖感波动范围较大。相关系数与多元线性逐步回归分析表明:纬密与厚度对接触冷暖感的影响显著,经纱细度次之,总紧度最小,接触冷暖感与纬密、经纱细度呈正相关,与厚度、总紧度呈负相关。认为:纤维种类和织物结构参数对织物接触冷暖感有明显影响。