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41.
2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器   总被引:3,自引:3,他引:0       下载免费PDF全文
量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用.为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz<1/2·W-1.第一支样管的噪声等效温差为33.2 mK,响应率不均应性8.9%.面阵盲元率1%.在70 K温度下获得了1 km和4.2 km处的建筑物的清晰成像.实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性.  相似文献   
42.
介绍了在金属微细图形化制作中常用的两种方法:刻蚀和剥离,并比较了两者的优劣。开发了一种新型的正胶剥离技术,着重解决了传统的正胶剥离技术中所存在的较为严重的“二次污染”问题,提高了其剥离精度,达到2μm。最后介绍了新型的正胶剥离技术在实际工作中的应用。  相似文献   
43.
退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响   总被引:3,自引:0,他引:3  
用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用改进的Sol—gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜,然后进一步对薄膜进行退火实验:对(110)方向生长BST薄膜在550~750℃进行恒温退火。X射线衍射分析表明:退火温度在650℃以上时,BST薄膜转变为较为完整的ABO3型钙钛矿晶体结构,更高的退火温度将提高晶体的取向度。  相似文献   
44.
采用H_2O_2/CH_3COOH降解体系和梯度乙醇溶液分级的方法制备了一系列分子量不同,分散度较低的低分子量壳聚糖.红外光谱和~(13)C核磁共振谱表明制备的低分子量壳聚糖化学结构与原料相似,无明显变化.X射线衍射谱显示:随着分子量的降低,其晶型由原料的"L-2 polymorph"晶型向"annealed polymorph"和"tendon hydrate polymorph"的混合晶型转变,最后趋近于无定形.体外细胞培养实验表明:在较低浓度下,制备的低分子量壳聚糖具有促进成纤维细胞增殖的作用;而壳聚糖的单体氨基葡萄糖在1mg/ml浓度下具有细胞毒性.  相似文献   
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