基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究

依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.     

时钟抖动下加速度测量值的数值双积分误差(英文)

采用蒙特卡洛分析法,对由于时钟抖动造成的加速度计定位误差进行了系统的分析.仿真结果表明,在存在时钟抖动的情况下,加速度测量值是渐近服从高斯分布的,这个结果与理论分析相吻合.对积分距离的方差与时钟抖动之间的关系进行了分析,理论及仿真分析结果都表明了噪声的数值双积分的积分误差与时钟抖动的大小成正比.当输入一个幅值为1g,周期为1 s的正弦波加速度信号时,1 s后数值双积分的积分误差与时钟抖动的比例系数为0.261 1.     

基于锁相技术的微机械陀螺闭环驱动电路

传统的闭环驱动电路其输出信号的频率与微机械陀螺驱动方向的固有频率存在一定偏差,且频率抖动较大,系统的建立时间较长．基于上述不足,在分析微机械陀螺闭环驱动方式工作原理的基础上,提出一种基于锁相技术的闭环驱动电路方案,电路进入稳定工作状态时,交流驱动电压与驱动方向敏感电流的相位及频率一致．微机械陀螺在驱动方向谐振,显著改善了输出信号的频率特性．仿真结果表明,这种闭环驱动电路输出信号频率与微机械陀螺驱动模态固有频率完全一致,频率抖动及系统建立时间分别是传统闭环驱动电路的38％和50％．通过实验验证了该方法的可行性     

PCS纳米颗粒粒度测试装置的研究

介绍了光子相关谱技术（PCS）测量纳米颗粒粒度的基本原理和PCS纳米测量装置的基本组成。因为纳米颗粒散射光所呈现的光谱是由颗粒粒径决定的，所以在纳米颗粒粒度测量中，单一角度测量只能观测到样品的部分情况。为了充分保证检测样品的真实表征及提高信噪比，文中提出了一个将步进电机和光纤联合应用于纳米颗粒粒度测量的设计方案。采用这个方案可以准确和方便地在不同角度上进行纳米颗粒粒度测量，而且有效地提高了信噪比和减小了装置的体积。     

梳状电极双轴微机械加速度计的研制

提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50 gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构.利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174 mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3 fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2 774 Hz,2 775 Hz.经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5 260 μm×5 260 μm.经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78 mV/g,谐振频率为2.4 KHz,带宽可达到1.5 KHz.     

江口水电站混凝土裂缝浅析

归纳江口水电站混凝土工程过程中所出现的裂缝，分析裂缝产生的原因，并提出防止裂缝产生的具体措施。     

加速度传感器信号处理集成电路的研制

设计并制作了一种用于差分电容式加速度传感器的信号处理电路。该电路具有模拟和脉宽调制两种输出方式 ,能够将差分电容的变化通过模拟电平和输出脉冲信号的占空比表征 ,实现了对差分电容式加速度传感器信号的测量。电路中集成了自检测驱动单元。电路采用 4 μmP阱CMOS工艺制作。初步测试结果表明 :在 1～ 5 pF内 ,电路的灵敏度为 10 .7V/ pF ,可满足大多数差分电容式传感器信号处理的要求。     

对汪立三等关于冼星海交响乐之讨论的回顾与思考

对冼星海交响乐作品的评价在音乐界一直存在争议，并由此在反右运动中引发了相应的政治风波，汪立三等人则是这些风波中的代表人物。笔者结合新时代的特点回顾这场纷争，科学辨证地从作曲技巧方面就汪立三对冼星海交响乐讨论的观点做出分析，分别就其作品的主导动机，“形式”与“内容”之关系，曲式结构，以及某些专业技巧提出思考。     

一种新的方法在维修性仿真中的应用：主导实体时钟值扫描法

本文结合一个具体的实例,研究了主导实体时钟值扫描法在维修性仿真中的应用;利用现有的数据和资料:构造了仿真模型,并在VAX-8550上以FORTRAN语言完成了仿真运行,最后得到了反应该系统维修性指标的固有利用率和固有平均修复时间。     

高强度板π形件冲压回弹解决方案

阐述了高强度板在成形过程中板料产生回弹的根本原因及传统的控制措施,以及CAE分析数值和模拟方法预测回弹的局限性,研究了解决回弹的一些办法,列举了实际模具设计和调试过程中回弹控制的实例。