A new method for measuring laser beam straightness error based on common-path compensation

A novel method for laser beam straightness error measurements based on common-path compensation is proposed. The basic principle of the method is described and the math-model is established. Furthermore, the influence of laser beam drift on straightness error measurements is analyzed. The experimental results show that the measurement accuracy can be greatly improved by using the common-path compensation for laser beam drift.     

提高直线度测量分辨率的新方法

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.     

动态测量数控机床的几何误差

数控机床的检测与修正是机床行业中的一个关键组成部分,每个国家都有相应的测量数控机床几何位置精度,特别是静态几何精度的标准。由于工件是在动态的过程中进行加工,数控机床的静态精度并不能完全代表其几何位置精度,对于某些精密加工和高速加工场合,必须对数控机床进行动态测量补偿,本文介绍了一种动态测量数控机床位置精度的系统,并给出了一些动态误差的实验结果。     

双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果，测量１００ｍｍ直径时测量系统的误差〈１０μｍ。     

表面粗糙度测量方法综述

表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数,表面粗糙度测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。综述了接触式和非接触式两类测量方法,着重介绍了非接触式测量中的几种测量方法的测量原理及其优缺点。     

基于半导体激光光纤组件的激光准直仪

介绍一种基于半导体激光光纤组件的激光准直仪 ,讨论了使用角锥棱镜作为活动靶镜的测量原理 ,给出了准直仪的软硬件设计方案。通过各种实验表明 ,本准直仪可直接应用于工业测量。     

用于现场测量的激光大直径测量系统

目前国内测量大直径手段依然停留在传统的机械方法上,如大型干分尺、铜带尺和π等、这些方法只能测量IT7、IT8级精度的零件,对于高精度的零件。其尺寸实际上处于无法测量的状态中,而大型关键零件的尺寸精度是保证重大技术装备制造质量的一个重要因素、国外也无现成的仪器出售。因此大直径高精度测量是我国大中型企业许多重大技术装备制造中普遍提出又急需要解决的共性测量技术难题,其中的大直拚测量点的瞄准和定位是国内外都未能很好解决的技术难题,本文提出一种新的大直径两测量点的瞄准定位方法和测量直径原理、可直接应用于大直径现场高精度测量。     

轴承内径测量方法的研究

提出一种轴承内径的测量方法和总体方案，实现了高精度、智能化的测量，减小了人工测量误差，具有很高的实用性。     

CR扫描仪激光扫描光学系统的设计

设计了一种适合于计算机X射线扫描仪的新型激光扫描系统,其空间分辨率为10lp/mm。针对常用扫描机构的不足,用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂取代传统的Fθ镜头,利用成像板的柔韧性实现圆弧形进片,扫描臂同时作为接收器收集激发出的荧光,从而简化系统结构,提高系统性能。利用所设计的光学系统,分析了激光光点大小对分辨率的影响,结果显示光点越小,系统分辨率越高。分析了系统中影响激光光点大小的因素,在高转速条件下对扫描臂进行了有限元仿真,计算了当入射光与五角棱镜入射面不垂直及五角棱镜存在安置误差时,对激光光点大小的影响。结果显示光点直径最大相对变化量为0.07%,表明所设计的激光扫描光学系统具有一定的容差性和实用性。通过实验验证了所研制扫描仪的性能,结果表明图像具有良好的视觉效果,能够满足工业检测要求。     

用于轨道检测的新型激光位移传感器的研究

基于四象限光电探测器和三角测量方法,设计出一种用于铁轨轨道几何参数检测的新型激光位移传感器.根据所设计的光学结构,建立了传感器测量的数学模型.理论分析和实验结果证明了系统的有效性和实用性.该系统在测量范围±10 mm内,线性相关系数R=0.997 23,测量范围在±5 mm内,线性相关系数R=0.999 81.该系统分辨率为0.1 mm.此新型位移传感器已在铁路上投入使用.