基于电流分配系数自适应修正的平面电机解耦控制

对于模型参数具有不确定性的平面电机运动系统,电流分配策略是引起其多自由度耦合行为的本质.但现有解耦控制的研究主要集中于各运动自由度控制算法的设计,没有从电流分配的物理层面解决耦合问题.论文针对平面电机三自由度解耦控制,建立了各线圈单元通电电流与三自由度位移输出之间的ARMA(auto regressive and moving average)模型,以实测输出与估计输出之间的残差平方最小为优化目标,提出了一种基于电流分配系数自适应修正的解耦控制算法,并给出了可用于实际控制的递推离散化方法.通过在线调节,使电流分配系数估计值逼近实际模型参数,从物理本质减小了多自由度耦合作用.采用轨迹跟踪实验,并与基于数据解耦控制方法进行对比,结果表明该方法提高了平面电机的定位与运动精度,验证了其对一类MIMO(multiple input multiple output)运动系统多自由度解耦的有效性.     

闭路电视星型双向控制系统

介绍一种闭路电视的双向控制系统。该系统用单片机控制,可实现96个教室对16台设备的双向控制。该系统可独立使用,也可用计算机通过RS232口对该系统进行自动.高超人有设备兼容性好,使用方便灵活的特点。     

浅析某工程结构设计

本文结合工作经验,阐述了高层建筑结构和工程优化设计理论的发展趋势,并探讨了利用满应力设计法进行高层建筑的结构优化设计的可行性。     

中国石化集团公司利用国际石油资源的战略与对策研究

在分析我国利用国际石油资源的内外部环境和条件的基础上，提出石化集团利用国外石油资源的战略选择和实现途径以及相关的政策建议。     

采煤机摇臂齿轮固热耦合分析与齿廓修形

基于赫兹接触理论建立齿轮啮合力学模型,依据渐开线形成原理推导出滚动距离和滚动角变化规律,以牛顿冷却定律和傅里叶定律为理论基础,结合采煤机摇臂工作特性,对齿轮系统对流换热和摩擦热流量进行计算,在对流换热系数确定中综合考虑齿轮与润滑油,润滑油与箱体内壁,箱体外壁与外界空气的热传递特性,以Blok理论为基础,本体温度为初始温度,分析了齿轮表面闪温和接触温度随滚动距离及滚动角变化规律。采用Romax Design建立了采煤机摇臂齿轮传动系统模型,对惰轮轴齿轮副进行固热耦合分析,基于Romax微观几何修形理论对渐开线齿廓进行修形,分析了齿廓修形对温度场影响。结果表明:齿廓修形消除了赫兹接触应力瞬增现象,最大接触应力减少72 MPa,修形后高温区由齿顶和齿根向齿廓中部移动,改善了轮齿温度分布,最高温度降低31.4℃。为研究采煤机摇臂齿轮传动系统修形及优化提供了理论基础。     

准平衡态下的流量式泄漏检测容积补偿研究

为研究并联型流量式气体泄漏检测中容器容积与泄漏量之间的内在关系,解决检测中的多参数耦合问题,从泄漏检测机理出发,通过分析检测过程中的准平衡状态,把压力变化率作为搭建基准容器与被测容器间的桥梁,建立了适用于并联型流量式泄漏检测的容积补偿模型,并提取层流管流量与泄漏量关系中的容积影响因子作为容积补偿系数。实验结果验证了模型的正确性,即采用容积补偿的方法,能初步建立起泄漏量与差压信号间的线性关系。     

基于前馈辨识与非线性复合反馈的平面电动机运动控制

控制器包括前馈项与反馈补偿,前馈用以减小加、减速段跟踪误差,反馈项用以提高系统鲁棒性并确保匀速段误差的收敛。然而实际中存在建模误差,基于名义模型计算得到的前馈系数不够准确。此外不确定项使得多自由度之间存在耦合,且无法确保跟踪误差的收敛。以平面电动机为研究对象,为提高其运动与定位精度,提出一基于前馈辨识与反馈非线性复合控制方法,并利用Lyapunov理论证明该算法的稳定性。其中前馈系数通过PD控制试验求解。反馈控制器中鲁棒项用以补偿建模误差以减小多自由度耦合并提高鲁棒性,非线性项采用基于误差幅值的变增益方法,用以抑制低频扰动并避免噪声的引入。试验结果表明,该方法明显减小轨迹跟踪误差,提高系统鲁棒性与伺服性。     

QF矿区无水芒硝矿精细描述及开发对策

根据对洪泽凹陷QF矿区及周边已钻井分析认为,矿区无水芒硝主要分布在下盐亚段的第Ⅷ、Ⅸ矿层,以及S12井附近的淡化亚段。通过研究,认为探区内矿层构造稳定,沉积厚度变化小,但北部有缺失。无水芒硝主要分布在矿区南部,第Ⅸ矿层分布范围小,厚度薄,而第Ⅷ矿层分布范围广,厚度大,第Ⅺ矿层只在S12井附近有分布。化验结果表明研究区的无水芒硝品级较好,符合工业指标要求。结合矿层特征,认为研究区宜采用水溶式对井生产为主,配合少量单井为辅的开发方式。     

扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统

扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27nm (3σ,Λ=251nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波PID控制实现了±4.17nm(3σ,Λ=251nm)的跟踪控制精度。     

面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述

超精密平面光栅编码器位移测量技术是32～7nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位探测方案、分辨率增强光路方案、离轴/转角允差光路方案、死程误差抑制光路方案的综述分析,提出了现有设计方案面向光刻机应用所需要解决的关键问题。面向亚纳米级测量精度的需求,针对光栅编码器的仪器误差,对周期非线性误差、死程误差、热漂移误差和波前畸变误差进行了综述分析,提出了平面光栅编码器实现亚纳米精度所需要解决的关键问题。本综述为光刻机专用超精密平面光栅编码器的研制提供了参考。